[发明专利]一种掺钒双层氧化镍电致变色薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种掺钒双层氧化镍电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将覆盖有ITO的玻璃基片分别于三氯乙烯、丙酮、乙醇中超声清洗5-10min，除去表面覆盖的灰尘及油脂，之后使用去离子水对基片进行清洗，除去上面残留的乙醇，最后使用氮气吹干，得到洁净的ITO基片；

（2）采用射频反应共溅射方法制备晶态氧化镍薄膜，使用的靶材为纯度为99.99%的金属镍；使用上步得到的洁净的ITO基片作为衬底；首先对真空室进行抽真空，当腔室内的压强达到4×10^-4Pa以下时打开加热器对衬底进行加热，当温度达到设定温度时开始对腔室内充气；设定温度为100℃～450℃，所充入气体为O₂与Ar的混合气，O₂在混合气体中的比例为1%～90%，生长过程中保持腔室内的压强恒定，压强为0.1Pa～5Pa；镍靶溅射功率为10W~200W，溅射生长时间为1min～100min；

（3）采用射频反应共溅射方法制备掺钒NiO薄膜，使用的靶材为纯度为99.99%的金属镍与纯度为99.9%的金属钒；使用上步得到的NiO/ITO作为衬底；接下来对真空室抽真空，当腔室内的压强达到4×10^-4Pa以下时打开加热器对衬底进行加热，当温度达到设定温度时开始对腔室内充气；设定温度为100℃～450℃，所充入气体为O₂与Ar的混合气，O₂在混合气体中的比例为1%～90%，生长过程中保持腔室内的压强恒定，压强为0.1Pa～5Pa；镍靶溅射功率为10W~200W，钒靶溅射功率为10W~200W；生长时间为1min～100min。