[发明专利]一种用于薄膜盘面绷紧的机构

说明书

一种用于薄膜盘面绷紧的机构，使得某光刻所用的薄膜在绷紧之后具有一定的内应力；本发明包括薄膜、上封盖、饼盘、下托盘、驱动推柱；其中，饼盘由六块结构完全相同的扇形体组成，每个扇形体包括扇形盘体、导向滑槽以及薄膜粘接凸台区域，下托盘包括圆形盘体、导向滑键以及复位弹性体；利用下托盘和上封盖约束饼盘的轴向自由度，利用导向滑块滑槽结构约束饼盘的转动自由度，限制饼盘只能沿半径方向向外伸展，利用驱动锥柱的轴向进动作为饼盘外伸的动力，使粘接在薄膜粘接凸台区域上的薄膜均匀绷紧且具有一定的内应力。

技术领域

本发明涉及某种薄膜镜设备领域，具体提出了一种用于薄膜盘面绷紧的机构，使薄膜在某光刻过程中保持平整紧绷并具有一定的内应力。

背景技术

在某种使用薄膜进行工作的光刻机的光刻过程前，需要对使用的薄膜进行预绷紧，使薄膜表面平整，提高光刻的成功率。薄膜固定在绷紧机构上，通过绷紧机构的外扩，带动薄膜，使其绷紧；薄膜在绷膜机构上被绷紧后，会有切膜机构将绷紧的薄膜固定，只截取中间圆形部分，转移到光刻机上进行下一步光刻工序。

光刻前会在薄膜上均匀涂上光刻胶，若作为基础的薄膜表面不平整，会导致光刻胶表面不平整，在光刻的过程中会导致图样走形，使光刻机不能正常光刻。

目前所使用的绷膜机构大多为长方形，通常存在薄膜拉不紧的问题，无法顺利的完成切膜工序，切膜时PI薄膜切不断或者薄膜切面切不平整导致造成薄膜的浪费，大大提高了生产成本和生产时间，导致生产效率低。

发明内容

本发明为保证薄膜在绷紧过程表面平整且具有一定的内应力，提出一种用于薄膜盘面绷紧的机构。

本发明所采用的设计方法是：根据圆形工作面，设计的一种用于薄膜盘面绷紧的机构包括薄膜(101)、上封盖(102)、饼盘(103)、下托盘(104)、驱动推柱(105)；所述的饼盘(103)由六块结构其安全相同的扇形体(301、302、303、304、305、306)组成，每个扇形体包括扇形盘体(401)、导向滑槽(402)以及薄膜粘接凸台区域(403)，所述的下托盘(104)包括圆形盘体(501)、导向滑块(502)以及弹性柱体(503)；所述的薄膜(101)与扇形体(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸台区域连接(403)，所述下托盘(104)的导向滑块(502)与上封盖(102)相连接，所述的扇形体(301、302、303、304、305、306)的导向滑槽(402)与所述下托盘(104)通过导向滑块(502)和弹性柱体(503)连接；所述扇形体(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸台区域(403)为扇形环状，且相对于扇形盘体(401)上表面具有一定的凸起高度，扇形盘体(401)几何中心有导向滑槽(402)，扇形体(301、302、303、304、305、306)的顶角形状为环切面斜角，顶角角度为60度；所述的下托盘(104)为环状，下托盘(104)上表面轴向分布6个等角度的导向滑块(502)，导向滑块(502)外端面与弹性柱体(105)相连接。

本发明一种用于薄膜盘面绷紧的机构，所述驱动推柱(105)顶部为的圆台，圆台斜角与所述扇形体(301、302、303、304、305、306)顶端环切面斜角一致，通过所述驱动推柱(105)的轴向移动，推动六个所述扇形体(301、302、303、304、305、306)沿径向同步远离圆心，在回程时，通过所述弹性柱体(503)施加回程力，确保六个扇形体同步回归初始点。

本发明一种用于薄膜盘面绷紧的机构，所述下托盘(104)的导向滑块(402)与上封盖(102)由螺栓连接，便于拆卸，修理和装配。

本发明一种用于薄膜盘面绷紧的机构，所述上封盖(102)的下表面和所述扇形体(301、302、303、304、305、306)沿凸起上表面在同一平面。