[发明专利]冷却板以及冷却板的制造方法有效
申请号: | 201910634532.3 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN110739280B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 中野雄太;斋藤祐士 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/473;H01L21/48 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李慧;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却 以及 制造 方法 | ||
本发明涉及冷却板以及冷却板的制造方法,冷却板具备:基板,具有并列地排列的多个散热片;和罩,覆盖多个散热片,并在与基板之间形成内部空间,多个散热片具备:第1散热片组,沿并列方向空出规定的间隙形成多个具有第1宽度的第1散热片;和第2散热片组,沿并列方向空出规定的间隙地形成多个具有比第1宽度大的宽度的第2散热片,第2散热片组形成于第1散热片组的两侧。
技术领域
本发明涉及冷却板以及冷却板的制造方法。
本申请基于在2018年07月19日向日本申请的特愿2018-135523号而主张优先权,并在此引用其内容。
背景技术
以往,公知有日本特开2010-123881号公报所示的冷却板。该冷却板具备具有并列地排列的多个散热片的基板和覆盖多个散热片并在与基板之间形成内部空间的罩。在罩设置有与内部空间连通的制冷剂流入部和制冷剂流出部。根据该冷却板,从制冷剂流入部流入内部空间的制冷剂通过多个散热片彼此之间的流路从制冷剂流出部流出,由此能够带走基板的热,来对基板进行冷却。
然而,在这种冷却板中,将以覆盖多个散热片的方式进行覆盖的罩焊接于基板。
然而,在将罩盖上时,存在外侧的散热片容易与罩接触,因该接触而使散热片弯曲的担忧。若外侧的散热片弯曲,则在罩与外侧的散热片之间形成有较大的间隙,从而制冷剂仅在该较大的间隙流动(产生所谓旁通流动)。由此存在冷却板的冷却性能降低的可能性。
发明内容
本发明是鉴于上述问题点而完成的,目的在于提供一种能够抑制冷却性能的降低的冷却板以及冷却板的制造方法。
本发明的第1形态的冷却板具备:基板,具有并列地排列的多个散热片;和罩,覆盖上述多个散热片并在与上述基板之间形成内部空间,上述多个散热片具有:第1散热片组,沿并列方向空出规定的间隙地形成多个具有第1宽度的第1散热片;和第2散热片组,沿并列方向空出规定的间隙地形成多个具有比上述第1宽度大的宽度的第2散热片,上述第2散热片组形成于上述第1散热片组的两侧。
对于上述所记载的冷却板而言,上述罩也可以通过焊料接合于上述基板,上述第2散热片彼此的间隙由上述焊料填埋。
本发明的第2形态的冷却板的制造方法中的冷却板具备:基板,具有并列地排列的多个散热片;和罩,覆盖上述多个散热片并在与上述基板之间形成内部空间,上述多个散热片具有:第1散热片组,沿并列方向空出规定的间隙地形成多个具有第1宽度的第1散热片;和第2散热片组,沿并列方向空出规定的间隙地形成多个具有比上述第1宽度大的宽度的第2散热片,上述第2散热片组形成于上述第1散热片组的两侧,该冷却板的制造方法具有:在上述基板形成用于切削出上述多个散热片的切削部的工序;将上述切削部的两端部留下作为切削余量并形成上述第1散热片组的工序;以及在形成上述第1散热片组后在上述两端部的切削余量分别形成上述第2散热片组的工序。
根据上述本发明的形态,能够提供一种能够抑制冷却性能的降低的冷却板以及冷却板的制造方法。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的冷却板1的剖面结构图。
图2是本发明的一个实施方式的冷却板1的分解立体图。
图3是本发明的一个实施方式的冷却板1的主要部分的放大剖视图。
图4A是表示在本发明的一个实施方式的冷却板1的制造方法中在基板2形成多个散热片10的工序的说明图。
图4B是表示在本发明的一个实施方式的冷却板1的制造方法中在基板2形成多个散热片10的工序的说明图。
图4C是表示在本发明的一个实施方式的冷却板1的制造方法中在基板2形成多个散热片10的工序的说明图。
具体实施方式
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