[发明专利]利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法在审
| 申请号： | 201910635314.1 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110244509A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 赵晓杰;陶沙;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/42;G02B27/42 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 王海滨 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射光学器件 晶圆材料 超快激光 聚合 固化光 光刻胶 双光子 固化 制作 等离子体刻蚀 激光加工方式 光刻胶表面 空间选择性 双光子吸收 表面刻蚀 精度要求 有机溶剂 残余的 常规的 透明的 未固化 分辨率 分切 刻蚀 涂覆 图案 覆盖 加工 | ||
1.一种利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：包括，
步骤一、将光刻胶涂覆在透明的晶圆材料表面；
步骤二、使用超快激光在光刻胶表面或内部产生双光子吸收、聚合、固化，形成固化图案；
步骤三、使用有机溶剂将未固化的光刻胶洗去；
步骤四、通过化学或等离子体刻蚀的方式，在晶圆材料表面进行刻蚀，以将没有固化光刻胶覆盖的晶圆材料表面刻蚀；
步骤五、将残余的固化光刻胶洗去，得到衍射光学器件；
步骤六、对衍射光学器件进行分切，得到单个衍射光学器件。
2.如权利要求1所述的利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：所述步骤二中，使用的激光波长从深紫到远红外，脉宽小于10ps，激光光束数量为2-4束。
3.如权利要求1所述的利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：所述步骤三中，使用的有机溶剂为丙酮。
4.如权利要求1所述的利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：所述步骤三中，所述有机溶剂的温度加热到50摄氏度。
5.如权利要求1所述的利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：所述步骤一中，透明的晶圆材料包括玻璃或塑料。
6.如权利要求1所述的利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：所述步骤五中，将残余的固化光刻胶洗去，包括湿法去胶及干法去胶；
所述湿法去胶为通过有机溶剂或无机溶剂将固化的光刻胶去除；
所述干法去胶为利用等离子体将固化的光刻胶去除。
7.如权利要求1所述的利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法，其特征在于：所述步骤六中，通过激光或机械的切割方式对衍射光学器件进行分切，得到单个衍射光学器件。
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