[发明专利]一种基于Cs3有效

专利信息
申请号: 201910635911.4 申请日: 2019-07-15
公开(公告)号: CN110459640B 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 史志锋;李营;马壮壮;梁文晴;李新建 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: H01L31/102 分类号: H01L31/102;H01L31/032;H01L31/0224;H01L31/18
代理公司: 郑州慧广知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41160 代理人: 付晓利
地址: 450000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 cs base sub
【权利要求书】:

1.一种基于Cs3Cu2I5钙钛矿的自供能光电探测器,包括绝缘透明的衬底(1),衬底(1)的上端从下到上依次设有载流子传输层(2)、Cs3Cu2I5光吸收层(3)和第一接触电极(4),载流子传输层(2)上设有第二接触电极(5);载流子传输层(2)为对紫外光有响应的半导体材料,载流子传输层(2)为ZnO、TiO2或GaN半导体,其厚度为300~500纳米,电子浓度为3.0×1017~8.0×1017每立方厘米,Cs3Cu2I5光吸收层(3)的厚度为500~800纳米。

2.根据权利要求1所述的一种基于Cs3Cu2I5钙钛矿的自供能光电探测器,其特征在于:所述衬底(1)为双面抛光的透明衬底,为石英或Al2O3

3.一种权利要求1或2之一所述的基于Cs3Cu2I5钙钛矿的自供能光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)清洗衬底(1);

(2)采用磁控溅射或金属有机物化学气相沉积方法制备载流子传输层(2);

(3)在载流子传输层(2)上利用一步旋涂法或气相共蒸法制备Cs3Cu2I5光吸收层(3);

(4)采用热蒸发法在Cs3Cu2I5光吸收层(3)上制备第一接触电极(4),在载流子传输层(2)上制备第二接触电极(5)。

4.根据权利要求3所述的一种基于Cs3Cu2I5钙钛矿的自供能光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中,利用一步旋涂法制备Cs3Cu2I5光吸收层(3),包括以下步骤:

1)将CsI和CuI粉末混合于二甲基亚砜溶液中,在氩气氛围中,将溶液用旋涂的方式均匀旋涂在载流子传输层(2)上;

2)在旋涂结束前13秒时滴加甲苯作为反溶剂,其滴加量为50微升;

3)最后对旋涂后的样品进行退火处理,退火温度为150℃,时间为20分钟。

5.根据权利要求3所述的一种基于Cs3Cu2I5钙钛矿的自供能光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中,采用气相共蒸法制备Cs3Cu2I5光吸收层(3),包括以下步骤:

1)将CsI和CuI粉末研磨均匀,放入真空蒸镀腔中;

2)将制备有载流子传输层(2)的衬底(1)放置在CsI和CuI混合粉末的上方,并加热到100℃;在氮气氛围、压强为10-4帕斯卡、蒸发功率为27瓦的条件下进行蒸镀,蒸镀时间为30分钟;

3)待蒸发结束后,样品在100℃下保持1小时,最后样品自然降温至室温。

6.根据权利要求3所述的一种基于Cs3Cu2I5钙钛矿的自供能光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中,Cs3Cu2I5光吸收层(3)的第一接触电极(4)为Au,厚度为30~60纳米。

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