[发明专利]一种平面靶材的绑定装置和方法

权利要求书

1.一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：包括带滑轨的机架（3）、热台（1）、密封滑盖（4）、气动升降滑块（5）、辅助板（6）、用于控制热台温度的温度控制箱（2）和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块（8），所述热台和温度控制箱固定在机架上，机架两侧边分别设置两条滑轨（3-1），热台位于两条滑轨之间，所述密封滑盖是下端面和一侧面具有开口的长方体结构，密封滑盖上设置有抽排气口（4-1），密封滑盖设置有两个，两个密封滑盖对称放置在机架的两端，所述气动升降滑块包括滑块（5-1）、安装在滑块上的气缸（5-2）和与气缸活塞杆连接的连接板（5-3），一个密封滑盖的两侧与多个气动升降滑块连接，即气动升降滑块的滑块安装在机架的滑轨上，连接板与密封滑盖上端面连接，所述辅助板上安装有多个用于夹紧背板的固定夹（7）。

2.根据权利要求1所述一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：所述密封滑盖边缘设置有凸缘（4-3），密封滑盖上还设置有滑动手柄（4-2）。

3.根据权利要求1或2所述一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：所述固定夹是由支撑架（7-1）、螺杆（7-2）和连接在螺杆底端的压块（7-3）构成，所述支撑架是由一体连接的横向杆和纵向杆构成，横向杆上开有螺孔，螺杆安装在螺孔内。

4.一种平面靶材的绑定方法，其特征在于：采用的装置是如权利要求1-3任一项所述的平面靶材的绑定装置，包括以下步骤：

⑴首先，将背板（A2）用固定夹（7）固定在辅助板（6）的中间位置，使背板保持平整；

⑵在背板之上，预计贴合靶材的区域，铺上厚度0.5-2毫米厚的铟板，其间放置直径0.3-1毫米的铜丝若干；

⑶将靶材（A1）按要求位置摆放在背板上，靶材与靶材之间放一定厚度的间隔片控制间距，靶材外周通过高温双面胶将多个限位块固定在背板上定位，以控制靶材与背板周边的距离；

⑷然后将辅助板（6）及固定在其上的待绑定靶材转移至热台上；移动密封滑盖（4）将待绑定靶材密封，移动密封滑盖前，先通过气动升降滑块将密封滑盖升起，通过气动升降滑块的滑块在滑轨上滑动，从而带动密封滑盖移动，移动完成后，通过气动升降滑块使密封滑盖下降盖紧；

⑸将热台（1）升温至130-150℃；用真空泵通过抽排气口进行抽气，使密封滑盖内部达到一定的真空，使靶材与背板间的空气排出，减少后期焊接气孔的出现；继续升温至170-200℃后，再通过抽排气口破除真空；

⑹然后打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整；确定好靶材位置后，重新盖上密封滑盖，开始降温，等温度降至室温后，对靶材周边多余的焊料进行清理即绑定完成。