[发明专利]一种复合制绒添加剂及其应用

权利要求书

1.一种复合制绒添加剂，其特征在于，所述复合制绒添加剂的组分包括：石墨烯或氧化石墨烯中的一种，表面活性剂，金属离子和溶剂；所述复合制绒添加剂中石墨烯或氧化石墨烯的浓度为0.1～50 mg/L；所述金属离子选自银离子、金离子、钯离子、铜离子、镍离子、锰离子、铑离子、铂离子、锇离子中的至少一种，所述金属离子的浓度为0.00000001～0.1mol/L。

2.根据权利要求1所述的复合制绒添加剂，其特征在于，所述石墨烯的层数为1～20层，尺寸大小为0.1～100μm；优选地，所述石墨烯的氧含量在20at%以下。

3.根据权利要求1所述的复合制绒添加剂，其特征在于，所述氧化石墨烯的层数为1～20层，尺寸大小为0.1～100μm；优选地，所述氧化石墨烯的氧含量为20～65at%。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的复合制绒添加剂，其特征在于，所述表面活性剂选自聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、三嵌段共聚物、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基苯磺酸、聚乙二醇、月桂醇硫酸钠和琥珀酸硫酸钠中的至少一种；优选地，所述表面活性剂的含量为0.0001～10wt %。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的复合制绒添加剂，其特征在于，所述金属离子由金属离子源溶于溶剂中得到，所述金属离子源为金属离子的氯化物、硝酸盐、碳酸盐、和磷酸盐中的至少一种。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的复合制绒添加剂，其特征在于，所述金属离子的浓度为0.000001～0.01mol/L。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的复合制绒添加剂，其特征在于，所述溶剂为去离子水、或醇类和水的混合物。

8.一种酸性腐蚀液体，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的复合制绒添加剂和含有硝酸和氢氟酸的混合溶液混合得到，所述含有硝酸和氢氟酸的混合溶液中氢氟酸、浓硝酸和水的体积比为（1～10）：(1～30）：1～10；所述浓硝酸为质量分数69～72wt%的硝酸；优选地，所述复合制绒添加剂和含有硝酸和氢氟酸的混合溶液的体积比为（2～5）：500。

9.一种对多晶硅片进行制绒的方法，其特征在于，将多晶硅片置于权利要求8所述的酸性腐蚀液体中，在5～15℃下进行刻蚀30～100秒，再经洗涤和干燥，得到表面具有绒面的多晶硅片。

10.一种根据权利要求9所述的方法制备的表面具有绒面的多晶硅片。