[发明专利]图案化复合装置及其动作方法

说明书

本发明提供图案化复合装置。上述图案化复合装置包括：图案化模块，安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板，向上述目标基板施加压力来在上述目标基板形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案；以及穿孔模块，包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基板接触或分离的穿孔模具，向上述目标基板施加压力来分割上述多个目标图案中的至少一个。

技术领域

本发明涉及图案化复合装置及其动作方法，更详细地，涉及图案化复合装置及其动作方法，即，在目标基板形成多个目标图案，在形成的多个目标图案中分割至少一个。

背景技术

为了克服对于超过曝光装备的边际分辨率的微细图案的光刻的光学限制，使用了在形成感光膜之后，将上述感光膜图案加热至感光膜的玻璃转移温度以上并进行软熔焊接(Reflow)来形成微细感光膜图案的工序和利用化学收缩辅助抗蚀增强光刻(RELACS，Resist Enhancement Lithography Assisted by Chemical Shrink)物质的工序等。

但是，在感光膜软熔焊接或化学收缩辅助抗蚀增强光刻工序的情况下，因分辨率限界及感光膜体积减少而几乎无法形成30nm水平的微细图案。由此，正在研究开发解决上述问题的多种微细图案形成方法及装置。例如，在韩国专利授权号10-1000715(申请号码：10-2008-0086923，申请人：延世大学产学合作团)揭示了与图案化对象物的种类和厚度等无关，可通过一定的性能稳定地执行图案化的图案化装置及利用其的图案化方法。此外，持续进行着有关形成微细图案的方法及装置的技术的研究开发。

现有技术文献

专利文献

韩国专利授权号10-1000715

发明内容

本发明所要解决的一技术问题在于，提供可在多种基板轻松形成具有多种大小及形状的图案的图案化复合装置及其动作方法。

本发明所要解决的再一问题在于，提供可以轻松分割多个目标图案的图案化复合装置及其动作方法。

本发明所要解决的另一问题在于，提供轻松进行大面积工序的图案化复合装置及其动作方法。

本发明所要解决的还有一问题在于，提供工序稳定性得到提高的图案化复合装置及其动作方法。

本发明所要解决的又一问题在于，提供使目标基板与冲孔装置之间的整列变得简单的图案化复合装置及其动作方法。

本发明所要解决的技术问题并不局限于上述问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供图案化复合装置。

根据一实施例，上述图案化复合装置可包括：图案化模块，安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板，向上述目标基板施加压力来在上述目标基板形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案；以及穿孔模块，包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基板接触或分离的穿孔模具(punching mold)，向上述目标基板施加压力来分割上述多个目标图案中的至少一个。

根据一实施例，上述目标基板及上述主图案可以多次接触，当每次接触时，使得上述主图案与上述目标基板上的不同区域相接触。

根据一实施例，形成有上述多个目标图案的上述目标基板可包括沿着第一方向延伸的第一分割区域及沿着与第一方向不同的第二方向延伸的第二分割区域，上述多个目标图案通过上述第一分割区域及上述第二分割区域形成行及列并二维排列。

根据一实施例，上述穿孔模具可包括沿着上述第一方向延伸的第一切割部及沿着上述第二方向延伸的第二切割部，包括通过上述第一切割部及第二切割部形成行及列并二维排列的多个凹陷图案。