[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜和黑色矩阵在审
申请号: | 201910644009.9 | 申请日: | 2019-07-17 |
公开(公告)号: | CN110727174A | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 丸山仁;大和田保 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/075;G03F7/00;G03F7/09 |
代理公司: | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杜丽利 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性树脂涂层 感光性树脂组合物 黑色感光性树脂 感光性干膜 光致产酸剂 有机硅树脂 组合物涂布 柔韧性 黑色矩阵 耐开裂性 遮光性质 可交联 粘合性 分辨率 基底 炭黑 改进 | ||
1.感光性树脂组合物,其包含(A)包含含酸可交联的基团的有机硅树脂的基础树脂、(B)炭黑和(C)光致产酸剂。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中所述酸可交联的基团为酚羟基或环氧基。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中所述有机硅树脂包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元:
其中,R1至R4各自独立地为C1-C8一价烃基,m为0至600的整数,和X1为具有式(X1)的二价基团:
其中,Y1为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基,R11和R12各自独立地为氢或甲基,R13和R14各自独立地为C1-C4烷基或C1-C4烷氧基,a1和a2各自独立地为0至7的整数,b1和b2各自独立地为0至2的整数。
4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中所述有机硅树脂包含具有式(a2)的重复单元和具有式(b2)的重复单元:
其中,R1至R4各自独立地为C1-C8一价烃基,m为0至600的整数,和X2为具有式(X2)的二价基团:
其中,Y2为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基,R21和R22各自独立地为氢或甲基,R23和R24各自独立地为C1-C4烷基或C1-C4烷氧基,c1和c2各自独立地为0至7的整数,d1和d2各自独立地为0至2的整数。
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