[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜和黑色矩阵在审

专利信息
申请号: 201910644009.9 申请日: 2019-07-17
公开(公告)号: CN110727174A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 丸山仁;大和田保 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/075;G03F7/00;G03F7/09
代理公司: 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 杜丽利
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性树脂涂层 感光性树脂组合物 黑色感光性树脂 感光性干膜 光致产酸剂 有机硅树脂 组合物涂布 柔韧性 黑色矩阵 耐开裂性 遮光性质 可交联 粘合性 分辨率 基底 炭黑 改进
【权利要求书】:

1.感光性树脂组合物,其包含(A)包含含酸可交联的基团的有机硅树脂的基础树脂、(B)炭黑和(C)光致产酸剂。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中所述酸可交联的基团为酚羟基或环氧基。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中所述有机硅树脂包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元:

其中,R1至R4各自独立地为C1-C8一价烃基,m为0至600的整数,和X1为具有式(X1)的二价基团:

其中,Y1为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基,R11和R12各自独立地为氢或甲基,R13和R14各自独立地为C1-C4烷基或C1-C4烷氧基,a1和a2各自独立地为0至7的整数,b1和b2各自独立地为0至2的整数。

4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中所述有机硅树脂包含具有式(a2)的重复单元和具有式(b2)的重复单元:

其中,R1至R4各自独立地为C1-C8一价烃基,m为0至600的整数,和X2为具有式(X2)的二价基团:

其中,Y2为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基,R21和R22各自独立地为氢或甲基,R23和R24各自独立地为C1-C4烷基或C1-C4烷氧基,c1和c2各自独立地为0至7的整数,d1和d2各自独立地为0至2的整数。

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