[发明专利]感光性树脂组合物和图案形成方法

权利要求书

1.感光性树脂组合物，其包含(A)含酸可交联的基团的有机硅树脂、(B)光致产酸剂和(C)白色颜料。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述酸可交联的基团选自环氧基、氧杂环丁烷基团和乙烯基醚基团。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中组分(A)含有包含具有式(A1)至(A6)的重复单元的有机硅树脂：

其中，R¹至R⁴各自独立地为可以含有杂原子的C₁-C₂₀一价烃基，m各自独立地为1至600的整数，当m为至少2的整数时，基团R³可以相同或不同和基团R⁴可以相同或不同，a、b、c、d、e和f为以下范围内的数：0≤a≤1、0≤b≤1、0≤c≤1、0≤d≤1、0≤e≤1、0≤f≤1、0<c+d+e+f≤1和a+b+c+d+e+f＝1，

X¹为具有式(X1)的二价基团：

其中，R¹¹至R¹⁴各自独立地为可以含有杂原子的C₁-C₂₀一价烃基，p为1至600的整数，当p为至少2的整数时，基团R¹³可以相同或不同和基团R¹⁴可以相同或不同，R¹⁵和R¹⁶各自独立地为氢或甲基，x各自独立地为0至7的整数，

X²为具有式(X2)的二价基团：

其中，Y¹为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R²¹和R²²各自独立地为C₁-C₄烷基或烷氧基，当g为2时，基团R²¹可以相同或不同，当h为2时，基团R²²可以相同或不同，R²³和R²⁴各自独立地为氢或甲基，y各自独立地为0至7的整数，g和h各自独立地为0、1或2，

X³为具有式(X3)的二价基团：

其中，R³¹和R³²各自独立地为氢或甲基，z各自独立地为0至7的整数，和R³³为可以含有酯键或醚键的C₁-C₈二价烃基。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中0<e+f≤1。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述白色颜料(C)具有至多1μm的平均粒度。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述白色颜料(C)为用至少一种化合物表面处理的二氧化钛，所述化合物选自Al、Si和Zr的水合氧化物，多元醇和有机硅化合物。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其含有3至60重量％的所述白色颜料(C)。

8.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其另外包含(D)交联剂。

9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其另外包含(E)抗氧化剂。

10.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其另外包含(F)溶剂。

11.图案形成方法，其包括以下步骤：

(i)将根据权利要求1所述的感光性树脂组合物涂布至基底上，以在其上形成感光性树脂涂层，

(ii)将感光性树脂涂层曝光至辐射，和

(iii)将曝光的树脂涂层用显影剂显影。