[发明专利]准直结构及其制作方法在审
申请号: | 201910644531.7 | 申请日: | 2019-07-17 |
公开(公告)号: | CN110333607A | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 刘文涛;程泰毅;焉逢运;谢詹启;张宜;杨振国;郝志 | 申请(专利权)人: | 上海思立微电子科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/30 | 分类号: | G02B27/30;G06K9/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 侯玲玲;李辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微透镜 透光区 准直 聚光层 挡光 光刻胶膜层 透光 基材 制作 上下方向延伸 并列排布 传播方向 焦点 光轴 上游 | ||
1.一种准直结构的制作方法,其特征在于,包括:
在感光器件上形成第一挡光层,其中,所述第一挡光层上设置有第一透光区;
在所述第一挡光层背对所述感光器件的一侧形成第一聚光层;其中,所述第一聚光层包括第一光刻胶膜层和嵌设在所述第一光刻胶膜层内的第一微透镜,所述第一微透镜的焦点位于所述第一透光区内。
2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤在感光器件上形成第一挡光层,具体包括:
在所述感光器件上形成第二挡光层,其中,所述第二挡光层上设置有第二透光区;
在所述第二挡光层背对所述感光器件的一侧形成第二聚光层,其中,所述第二聚光层包括第二光刻胶膜层和嵌设在所述第二光刻胶膜层内的第二微透镜;所述第二微透镜的焦点位于所述第二透光区内;
在所述第二聚光层背对所述感光器件的一侧形成所述第一挡光层。
3.如权利要求2所述的制作方法,其特征在于,步骤在所述第二聚光层背对所述感光器件的一侧形成所述第一挡光层,具体包括:
在所述第二聚光层背对所述感光器件的一侧制备黑色第一光刻胶膜层;
对所述黑色第一光刻胶膜层进行曝光,以形成所述第一透光区。
4.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,步骤对所述黑色第一光刻胶膜层进行曝光,以形成所述第一透光区,具体包括:
将掩膜放置在所述黑色第一光刻胶膜层背对所述感光器件的一侧;其中,所述掩膜包括透射区和遮挡区;
对所述掩膜进行照射,以使通过所述透射区的光线能照射在所述黑色第一光刻胶膜层上,以能形成所述第一透光区。
5.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤在所述第一挡光层背对所述感光器件的一侧形成第一聚光层;其中,所述第一聚光层包括第一光刻胶膜层和嵌设在所述第一光刻胶膜内的第一微透镜,所述第一微透镜的焦点位于所述第一透光区内,具体包括:
在所述第一挡光层背对所述感光器件的一侧制备第一光刻胶膜;
在所述第一光刻胶膜背对所述第一挡光层的一侧制备所述第一微透镜;且使所述第一微透镜的焦点位于所述第一透光区内;
在所述第一微透镜背对所述第一光刻胶膜的一侧制备第二光刻胶膜,且使所述第二光刻胶膜与所述第一光刻胶膜相粘合,以形成所述第一光刻胶膜层。
6.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,步骤在所述第一挡光层背对所述感光器件的一侧制备第一光刻胶膜,具体包括:
将第一光刻胶涂覆于所述第一挡光层背对所述感光器件的一侧;
使所述第一光刻胶在所述第一挡光层的表面上留平并固化。
7.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,步骤在所述第一光刻胶膜背对所述第一挡光层的一侧制备所述第一微透镜;且使所述第一微透镜的焦点位于所述第一透光区内,具体包括:
将第一模具放置在所述第一光刻胶膜背对所述第一挡光层的一侧;其中,所述第一模具具有用于形成柱状体的第一型腔;且所述第一型腔的两端向外敞开;
使所述第一光刻胶膜密封所述第一型腔的一端;且使所述第一型腔与所述第一透光区相正对;
通过所述第一型腔的另一端向所述第一型腔内注入第三光刻胶;
在所述第三光刻胶固化前,移除所述第一模具,以使所述第三光刻胶能向外扩散并凝固成所述第一微透镜,且使所述第一微透镜的焦点能位于所述第一透光区内。
8.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,步骤在所述第一微透镜背对所述第一光刻胶膜的一侧制备第二光刻胶膜,且使所述第二光刻胶膜与所述第一光刻胶膜相粘合,以形成所述第一光刻胶膜层,具体包括:
将第二光刻胶涂覆于所述第一微透镜背对所述第一光刻胶膜的一侧;
使所述第二光刻胶在所述第一微透镜的表面上留平并与所述第一光刻胶膜相粘合,以形成所述第一光刻胶膜层。
9.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于:所述第一挡光层的厚度为0.5μm至3μm。
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