[发明专利]一种主动消除光学系统外界震动干扰的装置

权利要求书

1.一种主动消除光学系统外界震动干扰的装置，包括光学平台、设置于光学平台上的光学设备，所述光学平台下方设有平台支架，其特征在于：所述光学设备上具有外部触发信号接口，在所述平台支架和光学平台之间设有主动震动组件，在所述平台支架上设有外部震动传感模块，所述外部震动传感模块、外部触发信号接口、主动震动组件均连接综合处理主机，所述综合处理主机用于通过外部震动传感模块采集环境作用于平台支架上的震动信号，并根据震动信号同步触发主动震动组件使其做出反向等振幅震动用来抵消环境震动；

所述光学平台上设有平台台面震动传感模块，所述平台台面震动传感模块连接综合处理主机，所述综合处理主机通过平台台面震动传感模块判定环境震动无法有效抵消时，将联动外部触发信号，触发光学系统为光学设备提供与震动频率相同的外部工作信号；

在所述光学平台下方设置的平台支架为多个，每个平台支架对应设置有外部震动传感模块以及主动震动组件；

所述主动震动组件包括上支撑板、下支撑板，所述上支撑板与光学平台底部连接，所述下支撑板与平台支架连接，上支撑板和下支撑板之间通过多轴震动机构连接；

所述多轴震动机构为三轴震动机构，其包括X轴震动器、Y轴震动器以及Z轴震动器，分别用于实现X轴主动震动、Y轴主动震动以及Z轴主动震动；

所述Z轴震动器安装于下支撑板的上表面，所述X轴震动器、Y轴震动器分别安装于下支撑板两个相互垂直的侧面上。

2.如权利要求1所述的一种主动消除光学系统外界震动干扰的装置，其特征在于：所述Z轴震动器包括震动生成器以及能够实现X轴、Y轴方向水平移动的双轴滑动组件，所述Y轴震动器包括震动生成器以及能够实现X轴、Z轴方向水平移动的双轴滑动组件，所述X轴震动器包括震动生成器以及能够实现Y轴、Z轴方向水平移动的双轴滑动组件，X轴震动器、Y轴震动器、Z轴震动器的震动生成器以及双轴滑动组件结构相同、安装方向不同。

3.如权利要求2所述的一种主动消除光学系统外界震动干扰的装置，其特征在于：所述上支撑板上具有三个安装面，三个安装面分别用于固定安装X轴震动器、Y轴震动器、Z轴震动器的震动生成器，X轴震动器、Y轴震动器、Z轴震动器的双轴滑动组件固定在下支撑板对应位置上。

4.如权利要求3所述的一种主动消除光学系统外界震动干扰的装置，其特征在于：所述双轴滑动组件包括A向支撑轴，所述A向支撑轴上设有十字座，所述十字座和A向支撑轴之间滑动配合，在所述十字座上设有B向支撑轴，所述B向支撑轴与A向支撑轴轴线方向相垂直，B向支撑轴上设有安装座，所述安装座和B向支撑轴之间滑动配合，震动生成器连接在所述安装座上。

5.如权利要求4所述的一种主动消除光学系统外界震动干扰的装置，其特征在于：所述十字座和A向支撑轴连接处设有滑动轴承，所述安装座和B向支撑轴连接处设有滑动轴承。