[发明专利]用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构

权利要求书

1.一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，所述MEMS惯性仪表系统包括MEMS惯性仪表和配套的印制电路板，MEMS惯性仪表设置在印制电路板上，其特征在于，所述一体化减振结构包括：连接组件和一体化减振器，所述连接组件套设在所述MEMS惯性仪表的外侧，用于将一体化减振器与所述MEMS惯性仪表连接，所述连接组件沿着所述MEMS惯性仪表的周向具有环形空腔；所述一体化减振器用于MEMS惯性仪表系统的减振，其包括多个形状相同的减振元件，多个所述减振元件沿着所述环形空腔的周向间隔设置在所述空腔内，多个所述减振元件呈中心对称且采用相同弹性材料制成，其中，多个所述减振元件通过一体成型方式设置在所述空腔内。

2.根据权利要求1所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述减振元件的高度设置为：所述高度使得减振器的支撑中心与MEMS惯性仪表系统的质心重合。

3.根据权利要求1所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，通过注塑或金属模压方式将所述弹性材料一体成型在所述空腔内以得到多个所述形状相同的减振元件。

4.根据权利要求3所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述减振元件采用橡胶制成，所述橡胶通过注塑或金属模压方式填充在所述空腔内且经高温硫化成型得到多个所述形状相同的减振元件。

5.根据权利要求4所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述橡胶为硅橡胶。

6.根据权利要求1-4所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述一体化减振器包括四个减振元件。

7.根据权利要求1所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述连接组件包括内支架和外法兰，所述内支架套设在所述MEMS惯性仪表的外侧，所述内支架外侧面具有多个呈中心对称的圆弧面，多个所述圆弧面位于同一圆周上；所述外法兰套设在所述内支架外侧，并与外部安装台体固定连接，所述外法兰和内支架之间形成所述环形空腔，所述外法兰内侧为圆柱面，多个所述减振元件分别一一对应设置在多个所述圆弧面和圆柱面之间。

8.根据权利要求7所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述MEMS惯性仪表包括表头和测控电路，所述表头采用LCC封装体封装，所述内支架套设贴合在所述LCC封装体外侧。

9.根据权利要8所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述内支架通过螺接或胶结的方式与LCC封装体连接。

10.根据权利要求7-9所述的一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，其特征在于，所述内支架材质包括可伐合金材料，和/或所述外法兰材质包括铝合金或不锈钢材料。