[发明专利]微型泵

权利要求书

1.一种微型泵，其特征在于，包含：

一集流板，具有一集流板第一表面以及一集流板第二表面，该集流板第一表面与该集流板第二表面为相对设置的二表面，该集流板包含：

一外沟槽，设置于该集流板第一表面；

一内凹槽，设置于该集流板第一表面并被该外沟槽环绕；

一凸部，设置于该集流板第一表面并设置于该内凹槽的中心处；

至少一集流孔，自该集流板第一表面贯穿至该集流板第二表面，并设置于该内凹槽内以及该凸部之外缘；以及

一集流外周壁，设置于该集流板第二表面并定义出一集流空间；

一阀片，设置于该集流板的该内凹槽内，并包含一阀孔，设置于该阀片的中心处，该集流板的该凸部抵顶该阀孔，该阀片与该集流板之间形成一集流腔室；

一出流板，包含一出流通道、至少一泄流通道、以及一出流外周壁，该出流通道设置于该出流板的中心处，该出流外周壁定义出一出流空间，该出流空间与该出流通道以及该至少一泄流通道相连通，该阀片的该阀孔与该出流空间以及该出流通道相连通，该出流外周壁卡合于该集流板的该外沟槽内，借此该阀片容置于该出流空间内；以及

一泵核心模块，容置于该集流板的该集流空间内；

其中，该泵核心模块汲取流体进入该泵核心模块后，通过该至少一集流孔流入该集流腔室，接着推开该阀片后通过该阀孔进入该出流板的该出流通道，以完成流体的传输。

2.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该集流板包含多个集流孔，等间距设置于该内凹槽内，并环绕该凸部。

3.如权利要求2所述的微型泵，其特征在于，该集流板的该外沟槽为一环状型态，则该内凹槽以及该凸部分别为一圆形型态，使得该集流板形成一同心对称结构。

4.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该出流板包含多个泄流通道，等间距设置，并环绕该出流通道。

5.如权利要求4所述的微型泵，其特征在于，该出流板具有一圆形型态，使得该出流板形成一同心对称结构。

6.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该阀片还包含一阀片外周壁，设置于该阀片邻近该集流板的一侧，并容置于该集流板的该内凹槽内。

7.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该出流通道为一直线通道。

8.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该出流通道为一弯曲通道。

9.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该泵核心模块包含：

一进流板，具有至少一进流孔、至少一汇流排槽及一汇流腔室，其中该进流孔供导入流体，并贯通该汇流排槽，该汇流排槽与该汇流腔室相连通，借此，该进流孔所导入的流体得以通过该汇流排槽后汇流至该汇流腔室中；

一共振片，接合于该进流板上，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进流板的该汇流腔室的位置相对应，该可动部设置于该中空孔周围，而该固定部设置于该共振片的外周缘部分并固定接合在该进流板上；以及

一压电致动器，接合于该共振片上；

其中，该共振片与该压电致动器之间形成一共振腔室，借此，当该压电致动器受驱动时，该压电致动器与该共振片的该可动部产生共振，流体由该进流板的该进流孔导入，通过该汇流排槽后汇集至该汇流腔室中，接着再流经该共振片的该中空孔，达成流体的传输。

10.如权利要求9所述的微型泵，其特征在于，该压电致动器包含：

一悬浮板，为一正方形形态，可弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，用以提供该悬浮板弹性支撑的支撑力；以及

一压电元件，具有一边长，该边长小于或等于该悬浮板的一边长，且该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以被施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。