[发明专利]柔性电介质体、柔性压力传感器及其各自的制备方法在审
| 申请号： | 201910648852.4 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110440957A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;杜琦峰;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 林丽璀 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性电介质 柔性压力传感器 微结构图案 微孔结构 变形 受力过程 压力测试 压力增大 介电层 灵敏度 体内部 制备 申请 | ||
1.一种柔性电介质体，其特征在于，所述柔性电介质体的一侧表面具有微结构图案，所述柔性电介质体的内部具有微孔结构。
2.根据权利要求1所述的柔性电介质体，其特征在于，所述微结构图案包括微凸结构图案。
3.根据权利要求2所述的柔性电介质体，其特征在于，所述微结构图案为锥体阵列，所述锥体的高度为1～200μm，相邻锥体间隔10～500μm。
4.根据权利要求1所述的柔性电介质体，其特征在于，所述微孔结构包括直径为10～300μm的孔，所述微孔结构中的每个孔均与外部连通。
5.一种柔性电介质体的制备方法，其特征在于，包括：
提供一侧表面刻蚀微结构图案的模板；
将电介质材料与造孔颗粒、固化剂混合均匀，得到混合物；
将所述混合物涂覆在所述模板的微结构图案侧并固化成型；
去除所述模板及所述造孔颗粒，得到表面具有微结构图案和内部具有微孔结构的柔性电介质体。
6.根据权利要求5所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述模板为水溶性高分子模板，所述提供一侧表面刻蚀微结构图案的模板的步骤，包括：
采用激光在所述水溶性高分子模板的一侧表面刻蚀微结构图案。
7.根据权利要求6所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述造孔颗粒为水溶性颗粒，所述去除所述模板及所述造孔颗粒，得到表面具有微结构和内部具有微孔结构的柔性电介质体的步骤，包括：
采用超声清洗溶解去除所述模板及所述造孔颗粒。
8.根据权利要求6所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述激光的单脉冲能量范围为20～300μJ，所述激光的扫描速度范围为100～3000mm/s。
9.根据权利要求5所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述造孔颗粒的质量占所述电介质材料与所述造孔颗粒的总质量的比例大于或等于60％且小于或等于90％。
10.一种柔性电介质体的制备方法，其特征在于，包括：
将电介质材料与造孔颗粒、固化剂混合均匀，得到混合物；
将所述混合物固化成型；
在固化成型后的混合物的一侧表面刻蚀微结构图案；
去除所述造孔颗粒，得到表面具有微结构图案和内部具有微孔结构的柔性电介质体。
11.根据权利要求10所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述在固化成型后的混合物的一侧表面刻蚀微结构图案的步骤，包括：
采用激光在固化成型后的混合物的一侧表面刻蚀微结构图案。
12.根据权利要求11所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述激光的单脉冲能量范围为20～300μJ，所述激光的扫描速度范围为100～3000mm/s。
13.根据权利要求10所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述造孔颗粒的质量占所述电介质材料与所述造孔颗粒的总质量的比例大于或等于60％且小于或等于90％。
14.根据权利要求10所述的柔性电介质体的制备方法，其特征在于，所述造孔颗粒为水溶性颗粒，所述去除所述造孔颗粒，得到表面具有微结构图案和内部具有微孔结构的柔性电介质体的步骤，包括：
采用超声清洗溶解去除所述造孔颗粒。
15.一种柔性电介质体，其特征在于，采用如权利要求5至9中任一项所述的柔性电介质体的制备方法制备得到，或采用如权利要求10至14中任一项所述的柔性电介质体的制备方法制备得到。
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