[发明专利]显示器用玻璃基板温度调节系统

说明书

本发明涉及快速有效地将单张玻璃的温度调节成设定温度的显示器用玻璃基板温度调节系统，包括：存放部，装载并保存多个玻璃基板；搬送部，单张地把持保存在存放部的玻璃基板来移送；温度调节部，调节搬送部供给的玻璃基板的温度；第一温度调节装置，向搬送部内部供给设定温度的空气来调节温度；第二温度调节装置，向温度调节部内部供给设定温度的空气来调节温度，温度调节部包括：温度调节部外罩，内部形成收容空间，上部形成有空气流入口，下部一侧形成有空气排出口；玻璃支撑单元，设置于温度调节部外罩内部，用于支撑搬送部供给的玻璃基板；空气供给装置，设置于温度调节部外罩外侧上部，以通过空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气。

技术领域

本发明涉及显示器用玻璃基板温度调节系统，更详细地，涉及如下的显示器用玻璃基板温度调节系统：在液晶显示器(LCD)制造工序中，在形成感光膜之后且在进行曝光处理之前，使玻璃的温度维持在最适合进行曝光处理的温度。

背景技术

通常，液晶显示器制造工序包括用于在玻璃(glass)基板上形成薄膜晶体管(TFT)图案的光刻工序。

在这种光刻工序中，为了在曝光工序中形成微细图案，需要精密地进行曝光处理，为此，均匀地维持在玻璃基板上形成的感光膜的温度和湿度尤为重要。

在此情况下，若玻璃基板的温度和湿度没有维持在规定水平，则产生由感光膜的收缩和膨胀引起的歪曲现象，由此，当进行曝光处理时，将产生位置整列的误差(不良)，从而存在收益率大大降低的问题。

因此，最近，正在研发并使用用于将玻璃基板的温度和湿度维持在规定水平的各种技术。

如上所述的目的下的现有技术有韩国授权专利公报第0825967号，在这里公开了接口单元和利用其的基板处理装置及基板的温度调节方法(以下，称为“专利文献”)。

在上述专利文献所公开的基板处理装置中，上述基板处理装置为内连型基板处理装置，其中包括：涂敷(Coater)部，用于进行平板显示器基板的涂敷工序；曝光部，用于进行曝光工序；以及接口部，用于在上述涂敷部与上述曝光部之间移送基板，上述基板处理装置的特征在于，上述接口部包括：存放部，从上述涂敷部接收基板并收容；以及温度调节部件，根据在收容于上述存放部的基板上的多个位置检测的温度的偏差，按照基板上的区域设定不同的温度调节用空气的供给流量，来调节基板的温度。

但是，在上述专利文献所公开的基板处理装置中，在存放部中第一次调节多个玻璃基板的温度，在此情况下，难以均匀地维持多个玻璃基板的温度，因此，需按区域供给具有供给流量不同等条件的温度调节用空气，因此，具有结构和控制方法复杂的问题。

并且，当在存放部中进行第一次温度调节的玻璃被移送到曝光工序时，在向校准部移送装载于存放部的单张玻璃之后进行位置整列，并第二次调节向校准部移送的玻璃的温度，接着，通过搬送部向曝光工序移送，由此，玻璃的温度被调节两次，因此，具有热能使用量很大的问题。

因此，需要研发以能够快速、有效地将移送到校准部的单张玻璃的温度调节成设定温度的方式使结构得到改善的显示器用玻璃基板温度调节系统。

现有技术文献

专利文献

专利文献0001：KR 10-0825967 B1(2008年04月22日)

专利文献0002：KR 10-0785462 B1(2007年12月06日)

专利文献0003：KR 10-0885709 B1(2009年02月19日)

发明内容

本发明为了解决如上所述的以往的显示器用玻璃基板温度调节装置所具有的问题而提出，本发明所要实现的目的在于，提供可快速、有效地将移送到温度调节部的单张玻璃的温度调节成设定温度的显示器用玻璃基板温度调节系统。