[发明专利]晶圆状态检测设备、方法及晶圆装卸载腔室

权利要求书

1.一种晶圆状态检测设备，其特征在于，包括第一传感器组、第二传感器组及控制装置，其中：

所述第一传感器组包括第一发射传感器和第一接收传感器，所述第一发射传感器向所述第一接收传感器发射第一光束，所述第一光束与片盒的放片位所在平面平行；

所述第二传感器组包括第二发射传感器和第二接收传感器，所述第二发射传感器向所述第二接收传感器发射第二光束，所述第二光束与所述第一光束之间具有预设夹角，所述预设夹角满足使相邻两个所述放片位上正常放置的晶圆先后沿垂直于所述放片位所在平面的方向穿过所述第二光束的过程中，所述第二光束能够穿过相邻两个所述放片位之间的间隙，并被所述第二接收传感器接收到；

所述控制装置根据所述第一接收传感器和第二接收传感器发送的信号数据确定各个所述放片位上的晶圆的状态。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述信号数据包括所述第一接收传感器在不能接收到光束时发送的第一信号，和所述第二接收传感器在不能接收到光束时发送的第二信号；

所述控制装置若在目标被检测放片位的第一正常片检测范围内接收到所述第一信号，且在所述第一正常片检测范围外检测不到所述第一信号，或者

在目标被检测放片位的第二正常片检测范围内接收到所述第二信号，且在所述第二正常片检测范围外检测不到所述第二信号，则确定所述目标被检测放片位上存放有晶圆，且状态正常；

所述控制装置若在目标被检测放片位的所述第一正常片检测范围内接收不到所述第一信号，且在所述第二正常片检测范围内接收不到所述第二信号，则确定所述目标被检测放片位上没有存放晶圆；

所述控制装置若在目标被检测放片位的第一正常片检测范围的内外均能检测到所述第一信号，则确定所述目标被检测放片位上存放有晶圆，且状态异常。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述第一正常片检测范围为所述第一接收传感器检测到正常放置在所述目标被检测放片位上的晶圆期间，所述目标被检测放片位上的晶圆所运动的距离；

所述第二正常片检测范围为所述第二接收传感器检测到正常放置在所述目标被检测放片位上的晶圆期间，所述目标被检测放片位上的晶圆所运动的距离。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述预设夹角小于等于3.4°。

5.一种晶圆装卸载腔室，包括设置在其内部的可升降的片盒托座，用于承载片盒，其特征在于，还包括权利要求1-3任一项所述的晶圆状态检测设备，用于检测所述片盒中的晶圆的状态。

6.根据权利要求5所述的腔室，其特征在于，所述第一发射传感器和所述第一接收传感器分别固定在所述腔室的内壁上，且相对设置；

所述第二发射传感器和所述第二接收传感器分别固定在所述腔室的内壁上，且相对设置，其中，所述第二发射传感器设置在所述第一发射传感器的上方，所述第二接收传感器对应的设置在所述第一接收传感器的下方，或者，所述第二发射传感器设置在所述第一发射传感器的下方，所述第二接收传感器对应的设置在所述第一接收传感器的上方。

7.一种晶圆状态检测方法，其特征在于，应用于权利要求1-3任一项所述的晶圆状态检测设备，所述方法包括：

使片盒沿垂直于所述放片位所在平面的方向移动；

所述第一发射传感器向所述第一接收传感器发射第一光束，所述第一光束与片盒的放片位所在平面平行；

所述第一接收传感器在不能接收到所述第一光束时向所述控制装置发送第一信号；

所述第二发射传感器向所述第二接收传感器发射第二光束，所述第二光束与所述第一光束之间具有预设夹角，所述预设夹角满足使相邻两个所述放片位上正常放置的晶圆先后沿垂直于所述放片位所在平面的方向穿过所述第二光束的过程中，所述第二光束能够穿过相邻两个所述放片位之间的间隙，并被所述第二接收传感器接收到；

所述第二接收传感器在不能接收到所述第二光束时向所述控制装置发送第二信号；

所述控制装置根据所述第一信号和所述第二信号确定各个所述放片位上的晶圆的状态。