[发明专利]半导体器件测试用分选机及其信息处理方法有效
申请号: | 201910650881.4 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN110508494B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 宋熙康;李泰敏 | 申请(专利权)人: | 泰克元有限公司 |
主分类号: | B07C3/18 | 分类号: | B07C3/18;B07C3/20;B07C3/08 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 测试 分选 及其 信息处理 方法 | ||
1.一种半导体器件测试用分选机,其特征在于,包括:
装载板,能够装载待测试的半导体器件;
卸载板,能够装载结束测试的半导体器件;
第一输送机,用于输送上述装载板,以使上述装载板选择性地位于加载位置及测试位置;
第二输送机,用于输送上述卸载板,以使上述卸载板选择性地位于上述测试位置及卸载位置;
加载部分,将待测试的半导体器件向位于加载位置的上述装载板加载;
测试部分,对借助上述加载部分向上述装载板加载的半导体器件进行测试;
卸载部分,将在上述测试部分结束测试的半导体器件从位于卸载位置的上述卸载板卸载;
条形码识别部分,在从借助上述加载部分加载的位置移动至借助上述卸载部分卸载的位置的多个半导体器件的移动路径上的一位置,识别对多个半导体器件赋予的条形码;以及
控制部分,对上述第一输送机、上述第二输送机、上述加载部分、上述测试部分、上述卸载部分及上述条形码识别部分进行控制,并读取借助上述条形码识别部分识别的条形码,来分别管理每个半导体器件的信息,
其中,上述装载板和上述卸载板及上述输送机和上述第二输送机设有多个,以上述半导体器件通过多个路径移动,
借助上述第一输送机上述装载板的移动距离,借助上述第二输送机上述卸载板的移动距离不同,
上述设有多个的上述装载板相互交互地移动,
而上述条形码识别部分包括:条形码识别器,用于识别条形码;以及移动器,用于移动上述条形码识别器,来使上述条形码识别器选择性地位于上述多个径路的上方,
上述条形码识别部分设置于上述加载位置和上述测试位置之间,并在上述装载板位于上述条形码识别部分的正下方时,识别上述装载板中所加载的上述多个半导体器件的上述条形码,
上述条形码识别器为区域相机,一次性拍摄提供给上述装载板上并位于拍摄区域内的多个上述半导体器件的条形码。
2.根据权利要求1所述的半导体器件测试用分选机,其特征在于,
在上述装载板,至少沿着上述装载板移动的方向能够并排装载多个半导体器件,
上述条形码识别部分设置于上述装载板的移动路径的上方,用于依次识别装载于移动的上述装载板的多个半导体器件的条形码,
当上述装载板经过上述条形码识别部分的下方时,上述控制部分控制上述输送机,使得上述装载板持续移动,以使上述条形码识别部分依次识别对装载于上述装载板的多个半导体器件赋予的条形码。
3.根据权利要求1所述的半导体器件测试用分选机,其特征在于,上述条形码识别部分包括:
条形码识别器,用于识别条形码;
照明器,用于使上述条形码识别器识别条形码,而向半导体器件的表面照射照明。
4.根据权利要求3所述的半导体器件测试用分选机,其特征在于,
上述照明器设置于上述条形码识别器和上述装载板之间,
上述照明器具有识别窗,用于使上述条形码识别器识别位于上述照明器的下方的半导体器件的条形码。
5.根据权利要求4所述的半导体器件测试用分选机,其特征在于,
上述照明器包括:
设置部件,其下方具有向上方突出的半圆筒面;以及
至少一个照射源,设置于上述设置部件的上述半圆筒面上,
其中,上述识别窗设置于上述设置部件。
6.根据权利要求4所述的半导体器件测试用分选机,其特征在于,
上述照明器包括:
反射板,呈向上方突起的穹形;以及
至少一个照射源,设置于上述反射板的下部,通过上述反射板向半导体器件提供间接照明,
其中,上述识别窗设置于上述反射板。
7.根据权利要求6所述的半导体器件测试用分选机,其特征在于,
上述条形码识别部分还包括照明器,用于借助上述条形码识别器识别条形码而向半导体器件表面照射照明,
上述条形码识别器和上述照明器借助结合部件相互结合,上述条形码识别器和上述照明器借助上述移动器的工作同时移动。
8.一种半导体器件测试用分选机的信息处理方法,其特征在于,包括:
识别步骤,在装载板从加载位置向测试位置移动过程中上述装载板位于包括条形码识别器的条形码识别部分的正下方时,识别对装载于上述装载板上的半导体器件赋予的条形码;
确认步骤,对上述识别步骤中识别的条形码进行分析,确认各个半导体器件的标识符以及与该半导体器件有关的信息;
存储步骤,存储上述确认步骤中确认的各个半导体器件的标识符和信息;
传送步骤,向测试器侧传送上述存储步骤中存储的标识符和信息,并同时传送与测试条件有关的信息,在测试器侧以与该半导体器件的标识符相关联的方式存储半导体器件的测试结果;
接收步骤,从测试器侧接收与半导体器件有关的测试结果;以及
记录步骤,与半导体器件的标识符相关联的方式记录从测试器侧接收的上述测试结果,
其中,对半导体器件进行测试之前或之后实施上述识别步骤及上述传送步骤,
上述装载板及卸载板设有多个,以上述半导体器件通过多个路径移动,
上述确认步骤包括移动条形码识别器,来使上述条形码识别器选择性地位于上述多个径路的上方的步骤,
上述条形码识别器为区域相机,一次性拍摄提供给上述装载板上并位于拍摄区域内的多个上述半导体器件的条形码,
上述识别步骤中,使上述装载板持续移动,以识别多个上述半导体器件的上述条形码。
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