[发明专利]一种片上集成宽带可调光子滤波器在审
| 申请号： | 201910651373.8 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110543034A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 胡晓;肖希;张宇光;陈代高;李淼峰;王磊;冯朋;余少华 | 申请（专利权）人： | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02B6/293 |
| 代理公司： | 42225 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 邱云雷<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微环谐振器 输出直波导 输入直波导 微环 直线段 耦合区 第一加热器 光子滤波器 弯曲波导 并联 加热 加热器 加热器设 片上集成 中心波长 跑道型 串扰 可调 宽带 带宽 平行 | ||
1.一种片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：其包括多个并联的微环结构，所述微环结构包括：
跑道型微环谐振器(1)；
分别位于所述微环谐振器(1)两侧的输入直波导(2)和输出直波导(3)，所述输入直波导(2)和输出直波导(3)均与所述微环谐振器(1)的直线段平行，且所述输入直波导(2)与其所在侧的微环谐振器(1)的直线段，以及所述输出直波导(3)与其所在侧的微环谐振器(1)的直线段分别形成有耦合区(4)；
设于所述耦合区(4)旁并用于对所述耦合区(4)加热的第一加热器(5)；
设于所述微环谐振器(1)旁并用于对所述微环谐振器(1)加热的第二加热器(6)；同时，
相邻两个所述微环结构通过180°弯曲波导(7)连接，以实现各微环结构的并联。
2.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：所述弯曲波导(7)呈半圆形结构或U形结构。
3.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：在输入直波导(2)的长度方向上，相邻两个所述微环结构的微环谐振器(1)存在有间距。
4.如权利要求3所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：相邻两个所述微环结构的微环谐振器(1)的间距L≥200μm。
5.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：沿着光的传播方向，在任意两个相邻的所述微环结构中，位于上游的所述微环结构的输出直波导(3)通过所述弯曲波导(7)与位于下游的所述微环结构的输入直波导(2)连接。
6.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：所述输入直波导(2)和所述输出直波导(3)与所述微环谐振器(1)的距离L1＝50～1000nm。
7.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：所述第二加热器(6)与所述微环谐振器(1)的距离L2≥500nm。
8.如权利要求5至7任一所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：
一端与所述弯曲波导(7)相连的输入直波导(2)的另一端连接有光吸收器(8)，和/或
一端与所述弯曲波导(7)相连的输出直波导(3)的另一端连接有光吸收器(8)。
9.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：所述第一加热器(5)和/或第二加热器(6)采用金属热电阻材料、掺杂硅材料、石墨烯材料中的至少一种制成。
10.如权利要求1所述的片上集成宽带可调光子滤波器，其特征在于：所述输入直波导(2)、输出直波导(3)和/或弯曲波导(7)采用硅和氮化硅中的至少一种制成。
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