[发明专利]一种振动辅助辊式磁流变抛光装置及方法

权利要求书

1.一种振动辅助辊式磁流变抛光装置，其特征在于：包括Z轴运动系统、X轴运动机构、Y轴运动机构、XY轴振动装置、磁流变液循环系统、抛光机构、底座平台，其中Z轴运动系统通过螺钉与底座平台连接，X轴运动机构通过螺钉与Z轴运动系统连接，Y轴运动机构通过螺钉与底座平台连接，XY轴振动装置通过螺钉与Y轴运动机构的垫块连接，抛光机构通过螺钉与X轴运动机构连接，磁流变液循环系统通过螺钉与抛光机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种振动辅助辊式磁流变抛光装置，其特征在于：所述的Z轴运动系统包括Z轴运动机构一、Z轴运动机构二和Z轴运动基座，Z轴运动基座通过螺钉与Z轴运动机构一和Z轴运动机构二连接；

所述的Z轴运动机构一和Z轴运动机构二结构相同，其中Z轴运动机构一包括：双向导轨一、基座一、轴承座一、联轴器一、滑块一、底板一、电机一和电机一驱动的滚珠丝杠一，其中双向导轨一通过螺钉与底板一连接，电机一通过螺钉与基座一连接，基座一通过螺钉与底板一连接，电机一通过联轴器一和轴承座一与滚珠丝杠一连接，滚珠丝杠一安装在双向导轨一之间，滑块一安装在双向导轨一上。

3.根据权利要求1所述的一种振动辅助辊式磁流变抛光装置，其特征在于：所述的X轴运动机构包括双向导轨二、基座二、轴承座二、联轴器二、滑块二、底板二、电机二、滚珠丝杠二，双向导轨二通过螺钉与底板二连接，电机二通过螺钉与基座二连接，基座二通过螺钉与底板二连接，底板二通过螺钉与Z轴运动系统中的Z轴运动基座连接，电机二通过联轴器二和轴承座二与滚珠丝杠二连接，滚珠丝杠二安装在双向导轨二之间，滑块二安装在双向导轨二上。

4.根据权利要求1所述的一种振动辅助辊式磁流变抛光装置，其特征在于：所述的Y轴运动机构包括双向导轨三、轴承座三、联轴器三、滑块三、底板三、滚珠丝杠三、电机三和垫块，双向导轨三通过螺钉与底板三连接，电机三通过螺钉与底板三连接，底板三通过螺钉与底座平台连接，电机三通过联轴器三和轴承座三与滚珠丝杠三连接，滚珠丝杠三安装在双向导轨三之间，滑块三安装在双向导轨三上，垫块通过螺钉固定在滑块三。

5.根据权利要求1所述的一种振动辅助辊式磁流变抛光装置，其特征在于：所述的XY轴振动装置包括振动平台安装板、XY轴振动平台和载物台，XY轴振动平台通过螺钉与平台安装板连接，载物台通过螺钉与XY轴振动平台连接；

所述的XY轴振动平台包括X向驱动单元、Y向驱动单元、柔性解耦机构、连接平台和刚性框架，连接平台设在刚性框架中且四周安装有柔性解耦机构，柔性解耦机构固定在刚性框架上且相对于连接平台的X向与Y向输出轴线对称分布，X向驱动单元与Y向驱动单元刚性连接在柔性解耦机构上，X向驱动单元驱动连接平台产生X向位移，Y向驱动单元驱动连接平台产生Y向位移；

所述的X向驱动单元包括预紧螺丝钉一、压电致动器一、位移传递块一、位移放大杠杆一、位移放大杠杆二，柔性铰链一和柔性铰链二，压电致动器一通过预紧螺丝钉一安装在位移传递块一上，位移放大杠杆一通过柔性铰链一固定在位移传递块一上，位移放大杠杆二通过柔性铰链二固定在位移传递块一上，位移传递块一用于传递压电致动器一产生的X向位移，位移放大杠杆一和位移放大杠杆二用于放大压电致动器二产生的X向位移；

所述的Y向驱动单元包括预紧螺丝钉二、压电致动器二、位移传递块二、位移放大杠杆三、位移放大杠杆四，柔性铰链三和柔性铰链四，压电致动器二通过预紧螺丝钉二安装在位移传递块二上，位移放大杠杆三通过柔性铰链三固定在位移传递块二上，位移放大杠杆四通过柔性铰链四固定在位移传递块二上，位移传递块二用于传递压电致动器二产生的Y向位移，位移放大杠杆三和位移放大杠杆四用于放大压电致动器二产生的Y向位移；

所述的柔性解耦机构包括柔性连杆一、柔性连杆二、解耦杠杆一、解耦杠杆二、柔性铰链五、柔性铰链六和平衡块，柔性连杆一固定在解耦杠杆一的输出端，解耦杠杆一通过柔性铰链五固定在平衡块一上，柔性连杆二固定在解耦杠杆二的输出端，解耦杠杆二通过柔性铰链六固定在平衡块上。