[发明专利]加速度传感器有效
申请号: | 201910654068.4 | 申请日: | 2015-03-03 |
公开(公告)号: | CN110361562B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | D.梅因霍尔德 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;G01P15/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加速度 传感器 | ||
1.一种加速度传感器,包括:
第一压力感测结构,在晶片中形成,
第二压力感测结构,横向相邻于所述第一压力感测结构,以及
惯性质量,在所述第一压力感测结构和所述第二压力感测结构上并且横跨所述第一压力感测结构和所述第二压力感测结构,
其中所述第一压力感测结构包括第一薄膜,并且其中所述第二压力感测结构包括第二薄膜,以及
其中在所述惯性质量外的所述第一薄膜和所述第二薄膜的至少部分可以具有蜿蜒的、弯曲的、或波动的形状。
2.权利要求1的所述加速度传感器,其中所述惯性质量是后端线惯性质量。
3.权利要求1的所述加速度传感器,其中所述第一压力感测结构能独立于所述第二压力感测结构操作。
4.权利要求1的所述加速度传感器,进一步包括至少一个进一步压力感测结构,所述至少一个进一步压力感测结构被定位成相邻于所述第一压力感测结构或所述第二压力感测结构中的至少一个,所述惯性质量也在所述至少一个进一步压力感测结构上并且横跨所述至少一个进一步压力感测结构。
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