[发明专利]高效画胶装片装置

说明书

本发明提供一种高效画胶装片装置，其包括：第一传送机构、第一画胶机构、第二画胶机构、装片台、第二传送机构、校正台、第三传送机构、晶圆台。本发明的高效画胶装片装置具有两个独立设置画胶机构，且两个画胶机构能够按照各自的画胶方式进行画胶，如此能够快速的完成一块基板的画胶，为后续晶圆片与基板的贴装提供了保障。

技术领域

本发明涉及晶圆片封装技术领域，尤其涉及一种高效画胶装片装置。

背景技术

IC装片机是半导体封装生产线中的关键设备，其在晶圆片装片中具有非常广泛的应用。IC装片机需要从直径八寸以上的大尺寸晶圆上取片，然后高速精准的贴装在基板上。在贴装在基板之前，需要对基板进行画胶。为了满足工业化生产的需求，基板的画胶主要依靠画胶机实现。然而，现有的画胶机画胶效率较低，限制了晶圆片的装片效率的提高。因此，针对上述问题，有必要提出进一步地解决方案。

发明内容

本发明旨在提供一种高效画胶装片装置，以克服现有技术中存在的不足。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种高效画胶装片装置，其包括：第一传送机构、第一画胶机构以及第二画胶机构；

所述第一画胶机构和第二画胶机构沿所述第一传送机构的传送方向，所述第一传送机构设置于所述第一画胶机构和第二画胶机构的下方，基板由所述第一传送机构传送，依次自所述第一画胶机构和第二画胶机构下方通过，所述第一画胶机构包括：第一画胶头以及第一驱动机构，所述第二画胶机构包括：第二画胶头以及第二驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述第一画胶头按照第一画胶动作进行画胶，所述第二驱动机构驱动所述第二画胶头按照第二画胶动作进行画胶；

所述装片台位于所述第二画胶机构的下游，所述第二传送机构位于所述装片台和校正台之间，所述第二传送机构包括：第一传送臂以及设置于所述第一传送臂一端的第一吸盘，所述第一传送臂于所述装片台和校正台之间进行枢转往复运动，所述校正台以自身轴线为转轴进行旋转校准，所述第三传送机构位于所述校正台和晶圆台之间，所述第三传送机构包括：第二传送臂以及设置于所述第二传送臂一端的第二吸盘，所述第二传送臂于所述校正台和晶圆台之间进行枢转往复运动。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，所述第一传送机构包括：左右对称设置的传送皮带、位于任一条传送皮带上的压板，所述压板与其下方的传送皮带之间形成基板边缘的传送空间。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，两条传送皮带分别由各自的驱动带轮带动进行传送运动，两条传送皮带的驱动带轮固定于同一条传动轴上，所述传动轴由电机带动枢转。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，所述第一画胶头按照第一画胶动作运动时形成第一画胶轨迹，所述第二画胶头按照第二画胶动作运动时形成第二画胶轨迹，所述第一画胶轨迹与第二画胶轨迹完全不重叠或者仅部分重叠。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，所述第一驱动机构包括：安装所述第一画胶头的第一座体、带动所述第一座体沿沿X轴方向运动的第一丝杆、带动所述第一丝杆及其上第一座体沿Z轴方向运动的第一气缸、带动其上第一座体、第一丝杆以及第一气缸沿Y轴方向运动的第一滑座。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，所述第一画胶头为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第一驱动机构进行同步驱动。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，所述第二驱动机构包括：安装所述第二画胶头的第二座体、带动所述第二座体沿沿X轴方向运动的第二丝杆、带动所述第二丝杆及其上第二座体沿Z轴方向运动的第二气缸、带动其上第二座体、第二丝杆以及第二气缸沿Y轴方向运动的第二滑座。

作为本发明的高效画胶装片装置的改进，所述第二画胶头为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第二驱动机构进行同步驱动。