[发明专利]一种刀具涂层及其生产设备在审
| 申请号： | 201910658848.6 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110273127A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 黄仕江;蒋源;袁明 | 申请（专利权）人： | 上海妙壳新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/50;C23C16/06;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/458;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201311 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自润滑层 连接层 耐磨层 真空腔 多层 刀具涂层 依次设置 抽气口 金属层 离化源 进气口 氮气 耐磨性 减小摩擦 结合能力 偏压电源 生产设备 真空腔体 低应力 基础层 旋转台 盛放 | ||
1.一种刀具涂层，其特征在于：由内到外依次设置金属层、连接层、纳米多层耐磨层和自润滑层，所述金属层为Ti，连接层为TiN或TiAlN，纳米多层耐磨层为TiAlN或AlCrWSiCN，自润滑层为AlCrWSiCN。
2.根据权利要求1所述的一种刀具涂层，其特征在于：所述纳米多层耐磨层的厚度为5-100纳米。
3.根据权利要求2所述的一种刀具涂层，其特征在于：所述纳米多层耐磨层的厚度为10-50纳米，气体表征厚度为1-3微米。
4.根据权利要求3所述的一种刀具涂层，其特征在于：所述纳米多层耐磨层的非金属中，5％<O<15％，5％<C<20％。
5.根据权利要求4所述的一种刀具涂层，其特征在于：所述自润滑层的厚度大于0.3微米，且小于1.5微米。
6.根据权利要求5所述的一种刀具涂层，其特征在于：所述自润滑层包括SiO、WO3和WC，且10％<O<20％，20％<C<60％。
7.根据权利要求6所述的一种刀具涂层的生产设备，包括真空腔(2)、与真空腔(2)连接的通入氮气的进气口以及设置在真空腔体(2)上的抽气口，所述真空腔(2)的中部设置有可以旋转的盛放工件的旋转台(3)，其特征在于：所述真空腔(2)内沿着逆时针方向依次设置有离化源(1)、以Ti作为材料的A靶、以TiAl为材料的B靶以及以AlCrWSi为材料的C靶，且A靶、B靶和C靶均连接有偏压电源，所述A靶和离化源(1)位于抽气口的两侧。
8.根据权利要求7所述的一种刀具涂层的生产设备，其特征在于：所述B靶中40％<Ti<60％，其余为Al，C靶中8％<W<20％,5％<Si<15％、15％<W+Si<30％以及30％<Cr<60％，其余为Al。
9.根据权利要求8所述的一种刀具涂层的生产设备，其特征在于：所述真空腔内(2)的压强为0.4-1Pa，温度为480℃，时间为5-8min，且A靶、B靶和C靶的偏压为100-200v，电流为100-150A。
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