[发明专利]一种用于碳化硅外延的加热装置在审
| 申请号： | 201910659137.0 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110331439A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;沈文杰;周建灿;邵鹏飞;曹建伟;汤承伟;杨奎 | 申请（专利权）人： | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁感应线圈 碳化硅外延 加热装置 外延生长 反应腔 冷却水 防护罩 运行可靠性 持续高温 加热线圈 使用寿命 线圈端部 线圈结构 线圈中部 均匀性 内外层 温度场 线圈匝 中空型 石英 加热 冷却 保证 递增 生长 改进 | ||
1.一种用于碳化硅外延设备的加热装置，包括外延生长反应腔和绕设于外延生长反应腔外的电磁感应线圈；其特征在于，所述电磁感应线圈包括多个线圈匝，所述电磁感应线圈的匝间距自线圈端部向线圈中部逐渐递增。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述电磁感应线圈为方形或圆形。
3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述电磁感应线圈与电源柜相连，电源柜输出频率为3kHz至8kHz。
4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述外延生长反应腔内部设有保温石墨罩，保温石墨罩为筒状结构，前后两端设有端盖。
5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述保温石墨罩内设有加热石墨罩；所述加热石墨罩包括加热石墨罩上部分和加热石墨罩下部分，呈中空半圆柱型或中空方型，两端为开放结构，加热石墨罩上部分和加热石墨罩下部分对称设置，且存在间隙；加热石墨罩上部分和加热石墨罩下部分两端对应的所述保温石墨罩端盖上开有惰性气体进出口，两部分间的间隙对应的保温石墨罩端盖上开有反应气体进出口。
6.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述外延生长反应腔外部套设有石英防护罩，电磁感应线圈绕设在石英防护罩外，石英防护罩包括石英罩内筒壁和石英罩外筒壁，石英罩内筒壁和石英罩外筒壁之间通冷却水；电磁感应线圈内部是中空的，中空内部通冷却水。
7.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述保温石墨罩、加热石墨罩表面均涂覆有碳化硅或耐高温陶瓷。
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