[发明专利]一种时域光谱的采样系统及方法有效

专利信息
申请号: 201910661334.6 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN110333198B 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 周涛;李琛 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G01N21/31 分类号: G01N21/31;G01N21/01
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;马盼
地址: 201210 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 时域 光谱 采样系统 方法
【权利要求书】:

1.一种时域光谱的采样系统,其特征在于,包括泵浦源、分光镜、检测光路、泵浦光路、相干检测模块和控制模块,所述检测光路中包括宽谱光源和样品架,所述泵浦光路中包括延迟采样单元;所述控制模块同时连接所述延迟采样单元、泵浦源和相干检测模块;

所述泵浦源在控制模块的控制下发射泵浦信号,所述泵浦信号经过分光镜分为两束,其中一束泵浦信号激励宽谱光源发射光信号,且光信号与样片架上的样品相互作用,产生样品信号;另一束泵浦信号经过所述延迟采样单元,产生延迟信号,所述样品信号和延迟信号均传输至所述相干检测模块发生相干效应,并产生相干信号,所述相干信号传输至控制模块中,所述控制模块通过提取Ms次相干信号,完成时域光谱的重建;其中,Ms指的是光谱时域采样的次数;

所述控制模块生成稀疏采样矩阵,通过稀疏采样矩阵控制延迟采样单元产生Ms种延迟时间,且每种延迟时间对应一次光谱时域采样;所述稀疏采样矩阵为Ms行的感知矩阵;Ms为大于1的整数。

2.根据权利要求1所述的一种时域光谱的采样系统,其特征在于,所述样品信号为透射信号。

3.根据权利要求1所述的一种时域光谱的采样系统,其特征在于,所述光谱时域采样的次数Ms=const2×((B/rs)/ln(B/rs)),其中,const2为1/8,rs为时域光谱分辨率,B为宽谱光源的谱宽。

4.根据权利要求1所述的一种时域光谱的采样系统,其特征在于,通过压缩感知技术完成时域光谱的重建。

5.根据权利要求1所述的一种时域光谱的采样系统,其特征在于,所述延迟采样单元包括旋转台R1、旋转台R2、反射镜M1、反射镜M2、反射镜M3和反射镜M4,其中,旋转台R1和旋转台R2沿对称轴对称放置,反射镜M1和反射镜M2平行且反射面相对,形成位于旋转台R1上的第一光学反射腔;反射镜M3和反射镜M4平行且反射面相对,形成位于旋转台R2上的第二光学反射腔;所述第一光学反射腔和第二光学反射腔沿对称轴对称放置;所述泵浦信号沿着反射镜M1进入所述延迟采样单元,并依次经过反射镜M2、反射镜M4和反射镜M3输出所述延迟采样单元,且入射光和出射光方向相同。

6.根据权利要求5所述的一种时域光谱的采样系统,其特征在于,通过调节旋转台R1和旋转台R2向相反方向旋转的角度,改变所述延迟采样单元的延迟时间,其中,旋转台R1和旋转台R2向相反方向旋转的角度相同,且旋转台R1和旋转台R2的旋转角度范围为(-45°,+45°),当泵浦信号入射至反射镜M1的入射角为45°时,旋转台R1和旋转台R2的旋转角度为0°。

7.一种时域光谱的采样方法,其特征在于,包括如下步骤:

S01:控制模块控制泵浦源产生泵浦信号;

S02:进行光谱时域采样,具体包括:

S021:泵浦信号经过分光镜分为两束,其中一束泵浦信号激励宽谱光源发射光信号,且光信号与样片架上的样品相互作用,产生样品信号;

S022:控制模块生成稀疏采样矩阵,通过稀疏采样矩阵控制延迟采样单元产生对应的延迟时间,且所述稀疏采样矩阵的一行对应一次时域光谱的采样;另一束泵浦信号经过延迟采样单元,产生对应的延迟信号;

S023:样品信号和延迟信号均传输至相干检测模块发生相干效应,并产生相干信号,相干信号传输至控制模块中,完成一次光谱时域采样;

S024:重复步骤S021-S023,进行Ms次光谱时域采样,且每次光谱时域采样时,控制模块控制延迟采样单元产生不同的延迟时间;

S03:控制模块通过提取Ms次相干信号,完成时域光谱的重建。

8.根据权利要求7所述的一种时域光谱的采样方法,其特征在于,所述步骤S03中通过压缩感知技术完成时域光谱的重建。

9.根据权利要求7所述的一种时域光谱的采样方法,其特征在于,所述延迟采样单元包括旋转台R1、旋转台R2、反射镜M1、反射镜M2、反射镜M3和反射镜M4,其中,旋转台R1和旋转台R2沿对称轴对称放置,反射镜M1和反射镜M2平行且反射面相对,形成位于旋转台R1上的第一光学反射腔;反射镜M3和反射镜M4平行且反射面相对,形成位于旋转台R2上的第二光学反射腔;所述第一光学反射腔和第二光学反射腔沿对称轴对称放置;所述泵浦信号沿着反射镜M1进入所述延迟采样单元,并依次经过反射镜M2、反射镜M4和反射镜M3输出所述延迟采样单元,且入射光和出射光方向相同;

通过调节旋转台R1和旋转台R2向相反方向旋转的角度,改变所述延迟采样单元的延迟时间,其中,旋转台R1和旋转台R2向相反方向旋转的角度相同,且旋转台R1和旋转台R2的旋转角度范围为(-45°,+45°),当泵浦信号入射至反射镜M1的入射角为45°时,旋转台R1和旋转台R2的旋转角度为0°。

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