[发明专利]电源控制方法及装置、电源设备及等离子体发生设备

权利要求书

1.一种电源控制方法，其特征在于，应用于等离子电源，所述等离子电源，包括：整流电路、IGBT逆变电路和变压器；所述整流电路的输入端连接供电电源，所述整流电路的输出端连接所述IGBT逆变电路的输入端，所述IGBT逆变电路的输出端连接所述变压器的初级线圈，所述变压器的次级线圈连接等离子体发生器；所述方法包括：

获取对目标气体的期望产量；

根据所述期望产量，利用SPWM调制技术控制所述IGBT逆变电路中开关器件的开关状态，以输出正弦波或脉冲波至所述等离子体发生器；

其中，所述根据所述期望产量，利用SPWM调制技术控制所述IGBT逆变电路中开关器件的开关状态，具体包括：

根据所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数；

其中，所述目标参数包括频率、调制度以及预设周期内实际输出的脉冲个数中的任意一个或多个；

其中，所述根据期望产量的依据为：臭氧产量与等离子电源的功耗成正相关关系；当臭氧的产量和等离子体发生器出口处臭氧浓度为定值时，等离子体发生器内气体流量和等离子电源的功耗成比例；而当臭氧的产量和等离子体发生器内气体流量为定值时，等离子体发生器出口处臭氧浓度和等离子电源的功耗成比例；

其中，所述SPWM信号的目标参数的调节具体为：同等频率下调节交变工作电压、同等电压下调节工作频率、同等电压和频率下调节放电次数；

其中所述根据所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数，具体包括：

获取所述等离子体发生器的输入气体流量；

基于所述输入气体流量和所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数，具体包括：

获取输入所述等离子体发生器出口处所述目标气体的浓度；

基于所述期望产量和所述目标气体的浓度，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数。

3.一种电源控制装置，其特征在于，应用于等离子电源，所述等离子电源，包括：整流电路、IGBT逆变电路和变压器；所述整流电路的输入端连接供电电源，所述整流电路的输出端连接所述IGBT逆变电路的输入端，所述IGBT逆变电路的输出端连接所述变压器的初级线圈，所述变压器的次级线圈连接等离子体发生器；所述装置包括：获取单元和控制单元；

所述获取单元，用于获取对目标气体的期望产量；

所述控制单元，用于根据所述期望产量，利用SPWM调制技术控制所述IGBT逆变电路中开关器件的开关状态，以输出正弦波或脉冲波至所述等离子体发生器；

其中，所述根据所述期望产量，利用SPWM调制技术控制所述IGBT逆变电路中开关器件的开关状态，具体包括：

根据所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数；

其中，所述目标参数包括频率、调制度以及预设周期内实际输出的脉冲个数中的任意一个或多个；

其中，所述根据期望产量的依据为：臭氧产量与等离子电源的功耗成正相关关系；当臭氧的产量和等离子体发生器出口处臭氧浓度为定值时，等离子体发生器内气体流量和等离子电源的功耗成比例；而当臭氧的产量和等离子体发生器内气体流量为定值时，等离子体发生器出口处臭氧浓度和等离子电源的功耗成比例；

其中，所述SPWM信号的目标参数的调节具体为：同等频率下调节交变工作电压、同等电压下调节工作频率、同等电压和频率下调节放电次数；

其中所述根据所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数，具体包括：

获取所述等离子体发生器的输入气体流量；

基于所述输入气体流量和所述期望产量，调节输出至所述IGBT逆变电路的SPWM信号的目标参数。