[发明专利]一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩

权利要求书

1.一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩，其特征在于，设置在腔室内衬和加热盘边缘上，即包括腔室内壁保温罩和加热盘边缘罩，所述腔室内壁保温罩为在腔室的底部、顶部、围墙即在做薄膜沉积时的加热盘（8）的周围设置一层三维保温罩，所述加热盘边缘罩为在加热盘（8）上加盖一组保温盖，包括边缘保温罩（9）和顶部保温盖（10）；

所述边缘保温罩（9）和顶部保温盖（10）可旋转、可随加热盘运动；

所述腔室内壁保温罩具体为：腔室的顶部从喷淋板（1）的喷淋上板沿着腔盖（6）、腔室（7）内壁设有一层保温内衬，分别为腔盖保温内衬（3）、腔室侧壁保温内衬（4）、腔室底部保温内衬（5）；

所述保温盖还包括加热盘底部保温罩；

所述边缘保温罩（9）设有0°-360°的开口；

所述顶部保温盖（10）设有0°-360°的覆盖。

2.根据权利要求1所述的一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩，其特征在于，所述三维保温罩材料的导热系数低于5 W/(m·K)并可用于薄膜沉积环境。