[发明专利]一种柔性内联式CIGS太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，包括：

柔性衬底；

用以防止硒蒸汽腐蚀衬底的背保护层，其沉积在柔性衬底的下表面；

用以保护柔性衬底不受激光损伤的绝缘层，其采用反应磁控溅射的方法制备在衬底上方；阻挡层，其采用直流溅射的方法制备在绝缘层上方；

背电极层，其采用直流溅射的方法制备在阻挡层上方；CIGS吸收层，其采用三步共蒸、溅射硒化方法制备在背电极层上方；缓冲层，其采用化学水浴工艺制备在CIGS吸收层上方；

窗口层，其采用脉冲直流溅射的方法制备在缓冲层上方；前电极层，其采用脉冲直流溅射的方法制备在窗口层上方；

多组刻线，每组刻线包括P₁刻线、P₂刻线和P₃刻线，其中P₁刻线采用卷对卷亚纳秒激光下打光方式将阻挡层和背电极层完全刻断，P₁刻线一直刻划到绝缘层表面，使第一道刻线P₁刻线两侧的子电池完全绝缘，同时对绝缘层不造成损伤；P₂刻线采用卷对卷机械刻线将CIGS吸收层、缓冲层两层薄膜完全刻断，P₂刻线下端刻划至背电极层上表面，保证P₂刻线两侧的子电池通过P₂刻线沟槽接触导通，且P₂刻线与P₁刻线是平行设置；P₃刻线采用卷对卷机械刻线将前电极层、窗口层、缓冲层以及CIGS吸收层完全刻划刻断，其下端刻划至背电极层上表面，保证P₃刻线两侧的子电池的前电极完全断开，同样的，P₃刻线与P₁刻线保持平行。

2.如权利要求1所述的柔性衬底内联式太阳能电池，其特征在于，所述柔性衬底为耐高温柔性衬底；背保护层为和柔性衬底结合较好且在高温下特性比较稳定的涂层；绝缘层为氮化铝绝缘层、二氧化硅绝缘层、二氧化钛绝缘层、氧化锌绝缘层、氮化硅绝缘层和三氧化二铝绝缘层中的一种；阻挡层为铬阻挡层、铝阻挡层、钛阻挡层、铬镍合金阻挡层或者钨钛合金阻挡层中的一种；背电极层为和CIGS晶格匹配好，高温下特性稳定，导电性好、反光性好的金属涂层；缓冲层为和CIGS晶格匹配度较好的化合物薄膜层；窗口层为高阻高透光薄膜层；前电极层为透明导电氧化物薄膜。

3.如权利要求1所述的柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，所述柔性衬底为耐高温，性能稳定的材料，比如柔性不锈钢衬底或柔性聚酰亚胺衬底；背保护层为背钼保护层，背电极层为背钼电极层，缓冲层为硫化镉缓冲层或硫化铟缓冲层，窗口层为i-ZnO窗口层，前电极层为ITO前电极层、AZO前电极层、FTO前电极层中的一种。

4.如权利要求1所述的柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，所述每组的P₁刻线、P₂刻线和P₃刻线，其中，P₂刻线位于P₁刻线和P₂刻线之间，相邻两条P₂刻线的间距为5000～6000um，每组刻线中的P₁刻线与P₂刻线间距为100～150um，每组刻线中的P₃刻线与P₁刻线间距为200～260um，相邻两条P₃刻线间距也为5000～6000um。

5.如权利要求1所述的柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，所述每组刻线之间采用平行的间隔设置。

6.如权利要求1所述的柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，电池组件四周采用激光或机械刻线技术刻一圈绝缘线，绝缘线刻划掉绝缘层上方所有膜层。

7.如权利要求1所述的柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，所述绝缘层采用加厚的设置。