[发明专利]一种抗干扰柔性生物电干电极及其制备方法

权利要求书

1.一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，包括：电极传感层、绝缘层、屏蔽层、电极支撑层；

其中，所述电极支撑层的上方设有一层所述屏蔽层；所述屏蔽层设有用于固定屏蔽层导线的第一连接点；

所述屏蔽层的上方设有一层所述绝缘层；

所述绝缘层上方设有一层所述电极传感层；

所述电极传感层设有用于固定电极导线的第二连接点。

2.根据权利要求1所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，所述屏蔽层由聚酰亚胺和导电纳米材料复合而成的聚酰亚胺导电复合材料层。

3.根据权利要求2所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，所述导电纳米材料为碳纳米管、石墨烯、银纳米线或金纳米线中任意一种。

4.根据权利要求1所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，所述电极传感层具有凸起的微型结构阵列，所述凸起的微型结构阵列为金字塔型，圆柱型或方柱型阵列。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，所述屏蔽层的厚度为0.1-10μm。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，所述电极支撑层的厚度为1μm-100μm。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，具有以下一种或多种特征：

所述电极传感层为生物兼容性金属，所述生物兼容性金属为Pt、Au或Ti中任意一种；

所述绝缘层为聚酰亚胺薄膜。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的一种抗干扰柔性生物电干电极，其特征在于，所述电极支撑层为柔性聚合物薄膜，所述柔性聚合物薄膜为聚对二甲苯C型薄膜、聚酰亚胺薄膜或聚二甲基硅氧烷薄膜中任意一种。

9.一种权利要求1-8任一项所述抗干扰柔性生物电干电极的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤一、在基底上旋涂光刻胶，曝光，显影，图形化光刻胶层；

步骤二、刻蚀所述基底，得到微结构阵列；

步骤三、在刻蚀后的所述基底上旋涂聚酰亚胺预聚物溶液，固化所述聚酰亚胺预聚物形成所述聚酰亚胺薄膜，形成绝缘层，在所述绝缘层的下表面形成微结构阵列；

步骤四、在所述绝缘层的上表面上制备一层屏蔽层；

步骤五、在所述屏蔽层的上表面上制备一层柔性聚合物薄膜，作为电极支撑层；

步骤六、在所述电极支撑层上旋涂光刻胶，曝光，显影，图形化光刻胶层；

步骤七、刻蚀未被光刻胶覆盖的所述电极支撑层，露出所述屏蔽层；

步骤八、在所述屏蔽层上溅射金属，在所述屏蔽层形成用于固定屏蔽层导线的第一连接点；

步骤九、去掉光刻胶，从所述基底取下器件，在所述绝缘层的下表面上溅射一层生物兼容性金属，形成具有微结构阵列的电极传感层和用于固定电极导线的第二连接点。

10.根据权利要求9所述的一种抗干扰柔性生物电干电极的制备方法，其特征在于：所述方法还包括：制备由聚酰亚胺和导电纳米材料复合而成的聚酰亚胺导电复合材料层即屏蔽层，在所述聚酰亚胺预聚物溶液中加入导电纳米材料填料，得到所述聚酰亚胺导电复合材料；

在步骤四中，在所述绝缘层的上表面上旋涂一层所述聚酰亚胺导电复合材料，固化所述聚酰亚胺导电复合材料，在所述绝缘层的上表面上形成所述屏蔽层。