[发明专利]用于移送流体的连接器及其控制方法

说明书

提供一种用于移送流体的连接器及其控制方法，该连接器在将插头与插座连接时能够易于连接而不会让作业人员承受负担。连接器包括：插头(3)，具有插头本体(3A)，所述插头本体内形成有流体流路；插座(5)，具有插座本体(13)，插座本体内形成有在与插头(3)连接时用于与所述流体流路连通的流体流路；驱动机构，用于调整插头本体(3A)与插座本体(13)之间的距离。通过驱动机构，能够使得插头本体(3A)与插座本体(13)在初始位置、连接位置和中间位置停止，初始位置为插头本体(3A)与插座本体(13)间隔且相对的位置，连接位置为使插头本体(3A)的流体流路与插座本体(13)的流体流路连通的位置，中间位置位于初始位置与连接位置之间。

技术领域

本发明涉及一种用于移送流体的连接器及其控制方法，例如用于移送半导体制造装置中使用的化学溶液或者气体。

背景技术

例如在专利文献1中所示地，为了移送半导体制造装置中使用的流体(化学溶液或气体)，可以使用用于移送流体的连接器。用于移送流体的连接器例如包括：插座，该插座固定地设置在建筑物侧，该建筑物侧上设置有用于暂时储存流体的缓冲罐；插头，该插头固定在从罐车引出的管顶端上。通过将插头与插座连接，从而能够将流体从罐车移送至缓冲罐。

如上述文献中记载所述地，在将插头插入而固定到插座侧的插口之后，清洗插头的顶端和插座本体的顶端。之后，通过使插座本体进入到插头侧，使得插头顶端的阀芯与插座本体顶端的阀芯对接，同时通过使得各个阀芯相互退避来构成流路，从而移送流体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1专利第5046958公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述文献中，通过将插头插入而固定到插座侧的插口之后，使得插座本体进入到插头侧即可形成流路。然而，因某些故障等，在将插头固定到插座侧的插口时，在插座侧完全进入到插头侧的情况下，可能会导致不经过上述清洗工序而打开阀进而开始移送流体。为了避免发生这种情况，可以考虑在插入插头时确定插座本体的位置。但是，让作业人员承担这种确定作业会增加作业人员的负担。

本发明鉴于如上所述的情况，目的在于提供一种用于移送流体的连接器及其控制方法，所述用于移送流体的连接器及其控制方法在将插头与插座连接时能够易于实现连接而不会让作业人员承受负担。

用于解决问题的方法

根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器包括：插头，所述插头具有插头本体，所述插头本体内形成有流体流路；插座，所述插座具有插座本体，所述插座本体内形成有流体流路以在所述插座与所述插头连接时用于与所述插头本体的所述流体流路连通；驱动机构，所述驱动机构在用于所述插头本体与所述插座本体连接和分离时，调整所述插头本体与所述插座本体之间的距离；以及控制部，所述控制部用于控制所述驱动机构，所述控制部通过控制所述驱动机构，使得所述插头本体与所述插座本体能够在初始位置、连接位置和中间位置停止，所述初始位置为所述插头本体与所述插座本体间隔且相对的位置，所述连接位置为使所述插头本体的所述流体流路与所述插座本体的所述流体流路连通的位置，所述中间位置位于所述初始位置与所述连接位置之间。

用于移送流体的连接器通过将插头本体与插座本体连接，使得流体流路连通而移送流体。插头本体与插座本体的相对位置通过驱动机构来调整。通过控制部控制驱动机构而能够定位于初始位置、使得插头本体与插座本体之间的流体流路连通的连接位置、以及初始位置和连接位置之间的中间位置。如上所述，由于能够使得插头本体和插座本体在初始位置与连接位置之间的中间位置上停止，因此在将插头安装在插座上时，尽可能地避免插头本体不经停中间位置而与插座本体连接。由此，在将插头本体与插座本体连接时，不让作业人员承受用于确定插头本体与插座本体之间的位置关系的负担，就能够容易地实现连接。