[发明专利]用于移送流体的连接器

说明书

提供一种用于移送流体的连接器，该连接器包括：插头，具有插头本体(3A)，所述插头本体内形成有流体流路；插座，具有插座本体(13)，所述插座本体内形成有流体流路以在所述插座与插头连接时用于与插头本体的流体流路连通；插头本体容纳部(13b)，设置在插座本体(13)上，以在连接时用于插入并容纳插头本体(3A)的顶端；O形环(64)，设置在插头本体容纳部(13b)上，并用于对插入到插座本体(13)内的所述插头本体(3A)的外周进行密封；清洗液供给孔(60)，设置在相对于O形环(64)的与插头本体(3A)的顶端相反的一侧位置，并用于向插头本体容纳部(13b)内供给清洗液。

技术领域

本发明涉及一种用于移送流体的连接器，例如用于移送半导体制造装置中使用的化学溶液或者气体。

背景技术

例如在专利文献1中所示地，为了移送半导体制造装置中使用的流体(化学溶液或气体)，可以使用用于移送流体的连接器。用于移送流体的连接器例如包括：插座，该插座固定地设置在建筑物侧，该建筑物侧上设置有用于暂时储存流体的缓冲罐；插头，该插头固定在从罐车引出的管顶端上。通过将插头与插座连接，从而能够将流体从罐车移送至缓冲罐。

如上述文献中记载所述地，在将插头插入而固定到插座侧的插口之后，清洗插头的顶端和插座本体的顶端。之后，通过使插座本体进入到插头侧，使得插头顶端的阀芯与插座本体顶端的阀芯对接，同时通过使得各个阀芯相互退避来构成流路，从而移送流体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1专利第5046958公报(图1)

发明内容

发明所要解决的问题

在上述文献中，如同一文献的图1所示，在将插头与插座连接而形成流路之前对清洗室25a进行清洗。具体地，从开设在清洗室25a的内表面上的喷射口46向清洗室25a内喷射清洗液，并从排出孔50排放清洗液。

然而，在同一文献中示出的喷射口46位于比用于密封插头的密封部47更靠近插座侧的位置。因此，在插头与插座连接而形成流路之后，因某些故障在从喷射口46向清洗室25a内引导清洗液的情况下，使得清洗液混入到化学溶液(流体)中而引起化学溶液污染的问题。

本发明鉴于如上所述的情况，目的在于提供一种能够避免清洗液混入到流体中的用于移送流体的连接器。

用于解决问题的方法

根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器包括：插头，所述插头具有插头本体，所述插头本体内形成有流体流路；插座，所述插座具有插座本体，所述插座本体内形成有流体流路以在所述插座与所述插头连接时用于与所述插头本体的所述流体流路连通；插头本体容纳部，所述插头本体容纳部设置在所述插座本体上，以在连接时用于插入并容纳所述插头本体的顶端；密封构件，所述密封构件设置在所述插头本体容纳部上，并用于对插入到所述插座本体内的所述插头本体的外周进行密封；清洗液供给孔，所述清洗液供给孔设置在相对于所述密封构件的与所述插头本体的顶端相反的一侧位置，并用于向所述插头本体容纳部内供给清洗液。

通过将插头与插座连接而形成流体流路，使得流体经由用于移送流体的连接器而流动。此时，通过插头本体容纳部上设置的密封构件而密封插头的外周，由此避免流体泄漏。

在清洗插头本体与插座本体时，通过从清洗液供给孔向插头本体容纳部供给清洗液而执行清洗。

由于清洗液供给孔设置在相对于密封构件的与插头本体的顶端相反的一侧位置，因此即使在插头本体与插座本体连接而移送流体、因某些故障而从清洗液供给孔流出清洗液时，通过密封构件使得清洗液与插头本体的顶端分隔，使得清洗液不会被引导至插头本体的顶端侧而混入到移送的流体中。

进一步地，根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器，所述清洗液供给孔朝向与所述插头本体的顶端侧倾斜的方向设置。