[发明专利]一种洁净生产厂房布置结构在审
| 申请号： | 201910666227.2 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110284737A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 罗桥;张东 | 申请（专利权）人： | 中国电子工程设计院有限公司;世源科技工程有限公司 |
| 主分类号： | E04H5/02 | 分类号： | E04H5/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘红彬 |
| 地址： | 100142 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洁净生产 技术夹层 洁净 厂房布置 回风夹道 连通 静压箱 厂房 化合物半导体 发光二极管 屋架 垂直层流 动力管线 工艺设备 洁净空气 结构开孔 两侧设置 送风方式 便利性 申请 压送 检修 回收 生产 | ||
1.一种洁净生产厂房布置结构，其特征在于，包括：
屋架及静压箱；
洁净生产层；
洁净下技术夹层；
所述洁净生产层与所述洁净下技术夹层之间采取结构开孔以连通所述洁净生产层和所述洁净下技术夹层；
所述洁净生产厂房一侧或两侧设置回风夹道，所述回风夹道的一端与所述洁净下技术夹层连通，另一端与位于所述洁净生产层上方的所述静压箱连通，用于将洁净空气压送至所述洁净生产层，通过所述回风夹道回收和循环所述洁净下技术夹层内的空气。
2.根据权利要求1所述的洁净生产厂房布置结构，其特征在于，所述洁净生产层与所述洁净下技术夹层之间采用垂直层流的送风方式。
3.根据权利要求1所述的洁净生产厂房布置结构，其特征在于，一部分所述结构开孔还用于连接所述洁净下技术夹层内的工艺辅助设备和所述洁净生产区层的主机台的动力管线穿过。
4.根据权利要求1所述的洁净生产厂房布置结构，其特征在于，所述洁净生产层包括光刻区和其它生产区域，所述洁净下技术夹层内设有承重柱，其中，所述洁净下技术夹层对应于所述光刻区的部分设置所述承重柱的密度大于所述洁净下技术夹层对应于所述其他生产区的部分设置所述承重柱的密度。
5.根据权利要求4所述的洁净生产厂房布置结构，其特征在于，所述洁净下技术夹层对应于所述光刻区的部分设置的承重柱的间距为4.2m～6m，所述洁净下技术夹层对应于所述其他生产区的部分设置的承重柱的间距为8.4m～12m。
6.根据权利要求4所述的洁净生产厂房布置结构，其特征在于，所述光刻区与所述洁净下技术夹层对应于所述光刻区的部分之间的结构为华夫板。
7.根据权利要求4所述的洁净生产厂房布置结构，其特征在于，所述其他生产区与所述洁净下技术夹层对应于所述其他生产区的部分之间的结构为华夫板或格构梁。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子工程设计院有限公司;世源科技工程有限公司，未经中国电子工程设计院有限公司;世源科技工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910666227.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种波形可控造浪池
- 下一篇：一种模数化变电站预制舱
