[发明专利]一种高精度激光射线同步测量一体机

说明书

本发明公开了一种高精度激光射线同步测量一体机，包括上部铝盒和下部铝盒；上部铝盒内部设置X射线发射器；下部铝盒内部设置X射线接收器；上部铝盒外部设置上部激光测试头，上部激光测试头包括上部激光源和第一光电探测器；下部铝盒外部设置下部激光测试头，下部激光测试头包括下部激光源和第二光电探测器；测厚支架整体焊接后加工；测厚支架的外侧设置有控制系统。测厚支架内设置上直线电机和下直线电机；直线电机安装面采用侧铣加工，上直线电机和下直线电机同步驱动。本发明采用一体式非接触式同步测量膜面密度和厚度，测头高速精确反复定位,测量结果更加精准。

技术领域

本发明涉及薄膜制造技术领域，具体涉及一种激光射线同步检测的测厚装置。

背景技术

在薄膜生产过程中，为了控制薄膜的厚度，需要用到薄膜测厚仪来为其提供厚度数据。现有的测厚装置，测头无法精确反复定位，且框架机械精度差，导致测量结果误差大。其次单测头使用范围有限，适用范围小。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种适用范围更广的高精度激光射线同步测量一体机，一体同步测量，测量表面平行度和精度高，反复定位精度高，测量结果准确。

为解决上述技术问题，本发明采取如下技术方案：一种高精度激光射线同步测量一体机，包括上部铝盒和下部铝盒；

所述上部铝盒的内部设置有X射线发射器；所述下部铝盒的内部设置有X射线接收器；

所述的上部铝盒外部设置有上部激光测试头，上部激光测试头包括用于发射上部激光束的上部激光源和接收上部反射光源的第一光电探测器；

所述的下部铝盒外部设置有下部激光测试头，下部激光测试头包括用于发射下部激光束的下部激光源和接收下部反射光源的第二光电探测器；

所述的第一光电探测器和第二光电探测器用于接收发射光的位置信息；

X射线发射器、X射线接收器、上部激光源、第一光电探测器、下部激光源和第二光电探测器均与测厚支架一侧的控制系统连接；所述的测厚支架整体焊接后加工，侧铣直线电机上下安装表面；

所述的控制系统预设上部激光测试头至标准膜片的距离A和下部激光测试头至标准膜片的距离B,得出标准膜片相应的模拟量输出值；所述的第一光电探测器和第二光电探测器将测量的反射光的位置信息发送至控制系统；控制系统根据反射光的位置信息计算出上部激光测试头与膜材料上表面的距离A1以及下部激光测试头与膜材料下表面的距离B1后与标准膜片对应的模拟值比较，给出膜材料的厚度值；

所述的控制系统还控制X射线发射器发出X射线，X射线穿透待测物体后被X射线接收器接收，根据X射线发射器的X射线的强度和X射线接收器接收的X射线的强度进行对比，计算出待测物体的面密度值；

所述的测厚支架内设置有供膜材料通过的通道；所述通道的上方和下方分别设置有上直线电机和下直线电机；测厚支架的直线电机安装面采用侧铣加工，一刀成型；所述的上直线电机和下直线电机同步驱动；所述的上直线电机驱动所述的上部铝盒横向反复移动；所述的下直线电机驱动所述的下部铝盒横向反复移动，直线电机能在高速环境下反复定位，定位精度达到0.001mm，并通过PLC编程，实现上下精确同步功能。

进一步地，所述的上部激光测试头和所述的下部激光测试头通过微调组件分别安装于所述的上部铝盒和所述的下部铝盒外部。

进一步地，所述的微调组件包括所述的微调组件包括横向调节装置和纵向调节装置；所述的横向调节装置包括固定安装在上部铝盒或者下部铝盒的滑轨、沿滑轨横向移动的滑块；所述的滑块通过调节螺钉与所述的滑轨连接；所述的纵向调节装置固定安装在滑块上；所述的纵向调节装置包括纵向移动座和Z轴千分尺手调精密滑台；所述的Z轴千分尺手调精密滑台固定安装于所述的滑块上；所述的纵向移动座与所述的Z轴千分尺手调精密滑台连接。