[发明专利]一种自动动态配气系统及其配气方法

权利要求书

1.一种自动动态配气系统，包括稀释气体(1)、被稀释气体(2)、气体混合腔(6)、质量流量控制器(5)、气体检测装置(7)、多个阀门以及用于各部件之间气体传输的管路；气体混合腔(6)具有三个进气口和一个出气口，稀释气体(1)出气口与气体混合腔(6)一个进气口连接，稀释气体(1)与气体混合腔(6)管路上设置有质量流量控制器Ⅰ(5-1)，气体混合腔(6)出气口与气体检测装置(7)进气口连接；其特征是：还包括气体流通管(4)，所述的气体流通管(4)具有多个进气口和两个出气口，被稀释气体(2)通过进气口依次与气体流通管(4)连接，两个出气口与气体混合腔(6)两个进气口连接；气体流通管(4)与气体混合腔(6)之间设有质量流量控制器Ⅱ(5-2)和质量流量控制器Ⅲ(5-3)，质量流量控制器Ⅰ(5-1)的量程大于质量流量控制器Ⅱ(5-2)和质量流量控制器Ⅲ(5-3)的量程，质量流量控制器Ⅱ(5-2)的量程大于质量流量控制器Ⅲ(5-3)的量程。

2.根据权利要求1所述的一种自动动态配气系统，其特征是：所述的气体流通管(4)由多个接头替代，同样具有多个进气口和两个出气口。

3.根据权利要求1或2所述的一种自动动态配气系统，其特征是：所述的多个阀门分别设置在被稀释气体(2)与气体流通道之间以及稀释气体(1)与质量流量控制器Ⅰ(5-1)之间，每个阀门均采用电磁阀(3)。

4.根据权利要求1或2所述的一种自动动态配气系统，其特征是：所述的质量流量控制器Ⅰ(5-1)的量程为0-2slm，质量流量控制器Ⅱ(5-2)的量程为0-2slm，质量流量控制器Ⅲ(5-3)的量程为0-10sccm。

5.根据权利要求1或2所述的一种自动动态配气系统，其特征是：所述的气体检测装置(7)内还设有气体传感器(8)，气体检测装置(7)具有两个出气口，一个出气口与气体处理装置(9)连接，另一个出气口与气体传感器(8)连接。

6.一种基于权利要求1-5中任意一项所述自动动态配气系统的配气方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步，打开稀释气体(1)和被稀释气体(2)气源，根据质量流量控制器进气压力要求调节到合适压力；

第二步，根据用户要求配置稀释气体浓度的顺序，设置被稀释气体(2)进入气体流通管(4)或多个接头的顺序；

第三步，被稀释气体(2)依次进入气体流通管(4)或多个接头后进入气体混合腔(6)与稀释气体(1)进行充分混合，混合气体通过气体混合腔(6)出气口排出，进入气体检测装置(7)和气体传感器(8)反应，产生信号输出。

7.根据权利要求6所述的配气方法，其特征是：所述第二步中，还包括根据用户所需设置进入气体流通管(4)中被稀释气体(2)浓度及该浓度时间。

8.根据权利要求6所述的配气方法，其特征是：还包括第四步，气体传感器(8)测试中或者测试完成后，同时气体检测装置(7)排出混合气体至气体收集装置。