[发明专利]一种激光能量检测装置及其检测方法有效
申请号: | 201910671104.8 | 申请日: | 2019-07-24 |
公开(公告)号: | CN110487396B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 魏磊;李宝;陈国;苑利钢;韩隆 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 于金平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 能量 检测 装置 及其 方法 | ||
本发明公开了一种激光能量检测装置及其检测方法,激光能量检测装置,包括:发射单元,用于输出固定能量的激光;衰减单元,用于对所述发射单元输出的激光进行衰减并输出衰减后的激光,所述衰减单元相对于所述发射单元可动以调节所述衰减后的激光的能量;监测单元,用于对衰减后的激光进行能量监测。采用本发明,通过设置衰减单元,衰减单元可以对发射单元输出的原始激光可控制的进行衰减,从而可以模拟出具有不同能量密度的激光,达到能量密度可连续调节的目的,由此,可以避免由于改变发射单元输出的激光影响激光的质量、保证检测效果的精确性与可靠性,且整个装置的部件简便、容易实现。
技术领域
本发明涉及激光探测领域,尤其涉及一种激光能量检测装置及其检测方法。
背景技术
随着激光器技术的发展,激光器在诸多领域都获得了较为广泛的应用,特别是某些波段的激光光源在激光探测领域发挥着重要作用。由于激光器输出激光光束的能量密度随激光传输距离的变化而变化,导致激光探测的效果也随着距离的增加而呈现不同。因此,要想评估不同距离下的激光探测效果,需要在不同距离处对激光进行探测,但在实际操作过程中采用这种方式不仅费时费力,而且还实现困难。
相关技术中,通过连续调节激光的指标(尤其是激光能量),以模拟不同探测距离条件下的激光特征。然而,实验发现,随着激光器初始输出能量的变化,激光光束质量也随之变化,这将影响激光的探测效果的精确性。
发明内容
本发明实施例提供一种激光能量检测装置及其检测方法,用以解决现有技术中通过模拟技术监测激光特征所存在的精确度低、可靠性低等问题。
本发明实施例提供一种激光能量检测装置,包括:
发射单元,用于输出固定能量的激光;
衰减单元,用于对所述发射单元输出的激光进行衰减并输出衰减后的激光,所述衰减单元相对于所述发射单元可动以调节所述衰减后的激光的能量;
监测单元,用于对衰减后的激光进行能量监测。
根据本发明的一些实施例,所述衰减单元,包括:
偏振镜,所述偏振镜与所述发射单元间隔设置,所述偏振镜与所述发射单元的中心轴线之间的夹角可调;
所述发射单元输出的激光入射至所述偏振镜后,一部分被所述偏振镜反射,另一部分穿过所述偏振镜后作为衰减后的激光输出。
在本发明的一些实施例中,所述偏振镜可绕所述发射单元的中心轴线转动。
在本发明的一些实施例中,所述衰减单元,还包括:
能量收集器,用于收集经所述偏振镜反射后的激光。
进一步的,所述能量收集器为一端敞开、另一端封闭的筒状结构,且所述能量收集器的内壁面具有凸起结构。
更进一步的,所述能量收集器的内壁面设有吸光件。
根据本发明的一些实施例,所述监测单元,包括:
分光镜,所述分光镜位于所述衰减单元远离所述发射单元的一侧且与所述衰减单元间隔设置,所述衰减后的激光入射至所述分光镜后,一部分被所述分光镜反射,另一部分穿过所述分光镜;
探测器,用于对所述分光镜反射后的激光进行探测。
在本发明的一些实施例中,所述分光镜与所述发射单元的中心轴线之间的夹角固定不变且为锐角。
本发明实施例还提供一种激光能量检测装置的检测方法,所述激光能量检测装置为如上所述的激光能量检测装置,所述检测方法包括:
启动所述发射单元;
调节所述衰减单元与所述发射单元的相对位置,以使所述衰减单元输出的衰减后的激光为预设值;
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