[发明专利]图案喷印宽度驱动的电流体动力学喷印控制方法

权利要求书

1.一种图案喷印宽度驱动的电流体动力学喷印控制方法，其特征在于：其包括以下步骤：

一、构建电流体动力学喷印非线性系统

w(k+1)＝f(w(k)，L，w(k-n_w)，u(k)，L，u(k-n_u))，

其中w(k)表示k时刻的电流体动力学喷印图案的实际宽度，u(k)表示k时刻的电流体动力学喷印图案的参数，u(k)表示为u(k)＝[u₁(k)，u₂(k)，u₃(k)，u₄(k)]^T，u₁(k)表示k时刻的电流体动力学喷印所施加的电压，u₂(k)表示k时刻的电流体动力学喷印的喷射高度，u₃(k)表示k时刻的电流体动力学喷印溶液的流量，u₄(k)表示k时刻的电流体动力学喷印平台的移动速度；n_w和n_u分别表示电流体动力学喷印非线性系统的未知系统阶数和输入阶数，f(·)表示电流体动力学喷印非线性系统未知的非线性函数；

二、确定电流体动力学喷印系统的图案喷印宽度驱动的数据模型

w(k+1)＝w(k)+φ(k)Δu(k)，

其中，Δu(k)＝u(k)-u(k-1)，φ(k)表示f(·)非线性函数的图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率，φ(k)表示为φ(k)＝[φ₁(k) φ₂(k) φ₃(k) φ₄(k)]，φ₁(k)表示k时刻的电流体动力学喷印所施加的电压参数u₁(k)的变化率，φ₂(k)表示k时刻的电流体动力学喷印的喷射高度参数u₂(k)的变化率，φ₃(k)表示k时刻的电流体动力学喷印溶液的流量参数u₃(k)的变化率，φ₄(k)表示k时刻的电流体动力学喷印平台的移动速度参数u₄(k)的变化率；

三、根据电流体动力学喷印系统的输入输出数据，构建图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率的φ(k)估计准则函数，估算图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率

四、根据确定电流体动力学喷印系统的图案喷印宽度驱动的数据模型，建立控制电流体动力学喷印参数输入的准则函数，得到电流体动力学喷印的参数

其中，ρ表示为步长因子，ρ的取值范围为ρ∈(0，1]，w*(k+1)表示为k+1时刻电流体动力学喷印图案的期望宽度；

五、将图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率φ(k)用估算图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率替代，最终获得实际电流体动力学喷印参数

步骤三中，建立图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率φ(k)的估计准则函数：

J(φ(k))＝|w(k)-w(k-1)-φ(k)Δu(k-1)|²+μ|φ(k)-φ(k-1)|²，

并获取估计准则函数φ(k)的极值，得到估算图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率

其中，为k时刻的估算图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率，η表示为步长因子，η的取值范围为η∈(0，1]，μ表示为权重因子，μ的取值范围μ＞0，表示f(·)非线性函数的图案喷印宽度随电流体动力学喷印参数的变化率的估算值表示k时刻的电流体动力学喷印所施加的电压参数u₁(k)变化率的估算值，表示k时刻的电流体动力学喷印的喷射高度参数u₂(k)变化率的估算值，表示k时刻的电流体动力学喷印溶液的流量参数u₃(k)变化率的估算值，表示k时刻的电流体动力学喷印平台的移动速度参数u₄(k)变化率的估算值。

2.根据权利要求1所述的图案喷印宽度驱动的电流体动力学喷印控制方法，其特征在于：步骤四中，将确定电流体动力学喷印系统的图案喷印宽度驱动的数据模型代入控制电流体动力学喷印参数输入的准则函数u(k)，并对u(k)求导并使其为零，获得电流体动力学喷印的参数。

3.根据权利要求1所述的图案喷印宽度驱动的电流体动力学喷印控制方法，其特征在于：步骤四中，建立控制电流体动力学喷印参数输入的准则函数

J(u(k))＝|w*(k+1)-w(k+1)|²+λ|u(k)-u(k-1)|²，

其中，w*(k+1)表示为k+1时刻电流体动力学喷印图案的期望宽度，w(k+1)表示k+1时刻电流体动力学喷印图案的实际宽度，λ表示为权重因子，λ的取值范围为λ＞0，λ对电流体动力学喷印参数u(k)的变化进行限制，

将确定电流体动力学喷印系统的图案喷印宽度驱动的数据模型与控制电流体动力学喷印参数输入的准则函数结合，得到电流体动力学喷印的参数

其中，ρ表示为步长因子，ρ的取值范围为ρ∈(0，1]。