[发明专利]一种同心度检测工具和方法在审
| 申请号： | 201910672271.4 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110274555A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 汪沛渊;张涛;白枭龙;杨俊;何丽珠;邓清香;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘新雷 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑轴 同心度检测工具 热场装置 检测杆 同心度 延伸 同心度检测 安装效率 方向垂直 单晶炉 第一端 坩埚轴 垂向 内壁 内热 指向 检测 | ||
1.一种同心度检测工具(1)，用以检测单晶炉内热场装置的同心度，其特征在于，包括：
用以设于坩埚轴(02)顶端并沿垂向延伸的支撑轴(2)；
设于所述支撑轴(2)的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆(3)；
其中，
所述支撑轴(2)与所述检测杆(3)的第一端固定连接；
所述支撑轴(2)的延伸方向与所述检测杆(3)的延伸方向垂直。
2.根据权利要求1所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，所述检测杆(3)的第二端具有尖角指针。
3.根据权利要求2所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，所述检测杆(3)设置两个。
4.根据权利要求3所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，两个所述检测杆(3)之间夹180°角。
5.根据权利要求1所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，
所述检测杆(3)的第二端设有激光位移传感器；
还包括与所述激光位移传感器相连、用以显示所述激光位移传感器的检测数据的显示屏。
6.根据权利要求1至5任一项所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，所述检测杆(3)为伸缩杆。
7.根据权利要求6所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，所述检测杆(3)包括：
调节杆(31)，所述调节杆(31)的第一端与所述支撑轴(2)的顶端相连，所述调节杆(31)的第二端设有滑槽(32)，所述滑槽(32)内设有条形孔(321)；
延伸杆(33)，所述延伸杆(33)可滑动地与所述滑槽(32)连接。
8.根据权利要求7所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，还包括用以设于坩埚轴(02)和所述支撑轴(2)之间的增高轴(4)，其中，所述增高轴(4)与所述支撑轴(2)可拆卸连接。
9.一种同心度检测方法，适用于上述权利要求1至8任一项所述的同心度检测工具(1)，其特征在于，包括：
S1：将支撑轴(2)装设于坩埚轴(02)的顶端；
S2：升降所述坩埚轴(02)，以判断检测杆(3)第二端与热场装置内壁面之间的距离是否发生变化，若是，则进入S3，若否，则进入S4；
S3：调整所述热场装置的垂直度，并返回S2；
S4：驱动所述坩埚轴(02)旋转，以判断所述检测杆(3)第二端与所述热场装置内壁面之间的距离是否发生变化，若是，则进入S5；
S5：沿垂直于所述热场装置轴线的方向调整所述热场装置的位置，并返回S2。
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