[发明专利]一种蒸发源挡板

说明书

本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；压力传感器设置于载台上，压力传感器设置于磁感应开关两侧。通过该装置当挡板没有发生形变时，金属片不会触碰到旁边的压力传感器，故而压力传感器不会感应到压力，而当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，节省人力，提高效率。

技术领域

本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。

背景技术

在OLED蒸镀工艺中采用的小挡板(source shutter或small shutter)，它是蒸发源上部存在的一块不可或缺的挡板，经过加热源对装有有机材料的坩埚进行加热升温，当达到一定温度后，只有当小挡板打开，才会让有机材料蒸汽蒸发出来，被Crystal(石英晶振片)传感器检测到后显示为蒸发源的蒸发速率。而小挡板都是直接采用金属挡板经过加工后便投入使用，在真空镀膜作业过程中，蒸发源小挡板需要不断地进行开合运动或是受到蒸发源高温对其的影响，容易造成弯曲或偏移形变等问题，致使无法完成真空镀膜，而这种异常不能被设备所识别，就不会发出警报，需要操作人员逐一排查引起设备停止运行的原因，造成不必要时间的消耗和人力浪费。

发明内容

为此，需要提供一种蒸发源挡板，用以解决现有蒸发源挡板出现弯曲或形变，却无法被设备识别，需要人工逐一排查，造成时间和人力浪费的问题。具体技术方案如下：

一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。

进一步的，还包括：定位片；所述压力传感器通过定位片设置于所述载台上。

进一步的，所述金属片长度大小与所述磁感应开关长度大小相同，且所述金属片与所述磁感应开关正相向设置。

本发明的有益效果是：所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；则可通过控制磁感应开关的开与关，来控制对金属片的吸附与脱附，进而控制挡板的开闭，即如果通有磁场，挡板则会吸在载台上，相反，未有磁场时，挡板则不会被吸在载台上。所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。当挡板没有发生形变时，金属片不会触碰到旁边的压力传感器，故而压力传感器不会感应到压力，而当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，进而节省需要人为排查故障的时间，节省人力，提高效率。

附图说明

图1为具体实施方式所述现有技术蒸发源与挡板的位置示意图；

图2为具体实施方式所述现有技术挡板发生异常的示意图；

图3为具体实施方式所述一种蒸发源挡板的示意图；

图4为具体实施方式所述发出警报的示意图。

附图标记说明：

1、载台，

2、挡板，