[发明专利]挥发有机废气处理系统的高温脱附方法

说明书

一种挥发有机废气处理系统的高温脱附方法，主要通过气体管路连接、冷却气体输送、高温热气输送、比例风门调控及浓缩气体燃烧等步骤来提升进入该吸附转轮的脱附区的高温热气的温度能达到一定温度(例如300℃)，以用来将该吸附转轮的脱附区上所残留的高沸点有机废气(VOC)脱出，使该吸附转轮能恢复其吸附能力，而具有高温脱附的效能，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上。

技术领域

本发明有关于一种挥发有机废气处理系统的高温脱附方法，尤指一种用来将该吸附转轮的脱附区上所残留的高沸点有机废气(VOC)脱出，使该吸附转轮能恢复其吸附能力的方法，而具有高温脱附的效能，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备者。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。

然而，目前在厂区安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备大都是采用吸附转轮方式来吸附挥发性有机气体(VOC)，但在使用一段时间后，常有高沸点物质不易脱附而残留于吸附转轮上，直接影响了吸附转轮的吸附效能，因此，目前处理方式都是委托外面专业厂商来定期进行洗涤吸附转轮，以确保吸附转轮的运作效率和气流流畅度。

但是，上述的定期进行洗涤吸附转轮时，都需要使用大量的清水来进行清洗，也因此产生大量含有挥发性有机气体(VOC)的废水，而此时含有挥发性有机气体(VOC)的废水中的化学需氧量(COD)非常高，无法直接由厂内废水处理系统处理后放流，须委托专业合格废弃物清运公司来进行处理才行。

因此，本发明有鉴于上述缺失，期望能提出一种具有高温脱附的效能的挥发有机废气处理系统的高温脱附方法，令使用者可轻易操作组装，于是潜心研思、设计组制，以给使用者提供便利，为本发明所欲研发的发明动机。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种挥发有机废气处理系统的高温脱附方法，主要通过吸附转轮吸附、冷却气体输送、高温热气输送、比例风门调控及废气进入燃烧等步骤来提升进入该吸附转轮的脱附区的高温热气的温度能达到一定温度(例如300℃)，以用来将该吸附转轮的脱附区上所残留的高沸点有机废气(VOC)脱出，使该吸附转轮能恢复其吸附能力，而具有高温脱附的效能，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上，进而增加整体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种挥发有机废气处理系统的高温脱附方法，并通过该热气输送管路可以采用另外装设辅助加热器或管道加热器的方式，或是引用该焚烧炉的炉膛的高温热气来进入热气输送管路的方式，还是采用将该第一热交换器的热侧出口的高温热气输送到热气输送管路内的方式，以及采用直接将该焚烧炉的炉膛提高燃烧温度的方式，另外也可以通过脱附风车来进行风量调整的方式，让进入该吸附转轮的脱附区的高温热气的温度能通过上述的任一种方式来进一步的提升，使能有效的来将所残留的高沸点有机废气(VOC)脱出，并具有节省能源的效能，进而增加整体的使用性。

为了能够更进一步了解本发明的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本发明。

附图说明

图1为本发明的第一种实施方式的主要步骤流程图；

图2为本发明的第一种实施方式的主要架构示意图；

图3为本发明的第一种实施方式具气体旁通管路的架构示意图；

图4为本发明的第一种实施方式具辅助加热器的架构示意图；

图5为本发明的第一种实施方式具管道加热器的架构示意图；

图6为本发明的第一种实施方式具炉膛引热管路的架构示意图；