[发明专利]对准方法

权利要求书

1.一种对准方法，使卡盘工作台对由设定于正面的第1分割预定线和与该第1分割预定线交叉的第2分割预定线划分的区域内形成有器件的晶片进行保持，利用拍摄单元对该卡盘工作台所保持的晶片进行拍摄，检测配置于该区域的对准标记，从而确定该第1分割预定线和该第2分割预定线，其中，

该对准方法具有如下的工序：

登记工序，该拍摄单元的拍摄区域比该区域小，登记比该拍摄区域小的区域的包含对准标记的目标图像；以及

确认工序，将利用该拍摄单元对新保持于该卡盘工作台的晶片进行拍摄而得到的并排的至少两个拍摄图像结合起来而形成结合图像，在每次形成该结合图像时，在该结合图像内进行图案匹配而确认有无该目标图像，

如果在该确认工序中检测到该目标图像，则根据该目标图像内的该对准标记来确定该第1分割预定线和该第2分割预定线。