[发明专利]一种铜或铜合金微蚀剂、制备方法及微蚀刻方法

权利要求书

1.一种铜或铜合金微蚀剂，其特征在于，所述微蚀剂包括：

硫酸 27-50g/L

双氧水 15-30g/L

柠檬酸和/或柠檬酸盐 1-14 g/L

乙酸和/或乙酸盐 1-6 g/L

氨基磺酸和/或氨基磺酸盐 0.4-2g/L

丙三醇和/或丁醇 3-10g/L

三羟丙基羟乙基乙二胺 1-12g/L

N-甲基吗啉 0.02-0.6g/L

2-乙基己基硫酸酯钠盐 0.01-0.8g/L

以及水。

2.根据权利要求1所述微蚀剂，其特征在于，所述微蚀剂包括：

硫酸 30-45g/L

双氧水 18-28g/L

柠檬酸和/或柠檬酸盐 3-11g/L

乙酸和/或乙酸盐 2-4g/L

氨基磺酸和/或氨基磺酸盐 0.7-1.6g/L

丙三醇和/或丁醇 5-9g/L

三羟丙基羟乙基乙二胺 2-10g/L

N-甲基吗啉 0.04-0.5g/L

2-乙基己基硫酸酯钠盐 0.02-0.7g/L

以及水。

3.根据权利要求1所述微蚀剂，其特征在于，所述微蚀剂中乙酸和/或乙酸盐与氨基磺酸和/或氨基磺酸盐重量比为（3-1）：1。

4.根据权利要求1所述微蚀剂，其特征在于，所述微蚀剂中硫酸与柠檬酸和/或柠檬酸盐的重量比为（10-3）：1。

5.一种铜或铜合金微蚀剂的制备方法，其特征在于，将权利要求1-4中任一项所述的铜或铜合金微蚀剂中的硫酸、双氧水、柠檬酸和/或柠檬酸盐、乙酸和/或乙酸盐、氨基磺酸和/或氨基磺酸盐、丙三醇和/或丁醇、三羟丙基羟乙基乙二胺、N-甲基吗啉和2-乙基己基硫酸酯钠盐溶于水形成铜或铜合金微蚀剂。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

a. 将硫酸加入适量水中搅拌溶解；

b. 将柠檬酸和/或柠檬酸盐、氨基磺酸和/或氨基磺酸盐、2-乙基己基硫酸酯钠盐加入步骤a得到的溶液，搅拌溶解；

c. 将双氧水加入步骤b得到的溶液，搅拌溶解；

d. 将丙三醇和/或丁醇、三羟丙基羟乙基乙二胺、N-甲基吗啉加入步骤c得到的溶液，搅拌溶解得到所述微蚀剂。

7.一种采用权利要求1-4中任一项所述微蚀剂的微蚀刻方法，其特征在于，将铜或铜合金基材表面与所述微蚀剂接触进行蚀刻处理。

8.根据权利要求7所述的微蚀刻方法，其特征在于，所述微蚀的温度为25-35℃，微蚀的时间为60-300s。