[发明专利]工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统

说明书

本发明提供一种工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统，所述工件台位置校准方法主要通过装设于主基板上的FLS垂向定位工装，对先后装设于工件台上的多面镜工装反射镜与第一基准板进行测量，分别得到第一垂向位置与所述第二垂向位置，进而基于所述第一垂向位置与所述第二垂向位置，校准所述工件台的垂向零位。由于在多面镜工装反射镜完成距物镜像距的位置调整后，多面镜工装反射镜的上表面即与物镜像面位置一致，进而以第一垂向位置为基准，根据第二垂向位置调整工作台的垂向零位，相比现有技术，直接以第一基准板的上表面与物镜像面的关系为基准，校准精度高，故而可提高工件台的定位精度。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统。

背景技术

请参考图1，其是一种光刻机的工件台测量系统的示意图，其中图1(A)是该工件台测量系统的侧视示意图，图1(B)是该工件台测量系统的俯视示意图。现有技术中，对于光刻机的工件台01的垂向零位的测量，一般于工件台01上设置角锥镜02，并由装设于主基板05上的零位传感器(PSD传感器)03对角锥镜02进行测量，其测量的精度基于零位传感器03测量基准相对于角锥镜02测量基准。由于工件台01的应用场景为标准基准板(未图示，实际中置于工件台01上)的上表面与物镜04的像面需保持一致，所以采用上述方法，还会产生多个安装误差，安装误差主要包含零位传感器03的测量基准相对物镜04安装基准的误差，以及角锥镜02测量基准相对标准基准板的上表面的位置误差等，各项误差累加后，Z方向(即垂向)的误差可达到250μm，倾斜误差可达到200μrad。如此，将影响工件台01的正常工作行程，导致最终的垂向零位倾斜较大，进而造成干涉仪IFM的阿贝误差偏大，最终影响工件台01的定位精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统，以解决现有工件台位置校准误差大的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种工件台位置校准方法，所述工件台可移动地设置于一主基板上，所述主基板上可拆卸地装设有一物镜，所述工件台位置校准方法包括：

将多面镜工装反射镜装设于工件台上；

完成所述多面镜工装反射镜距物镜像距的调整；

将FLS垂向定位工装装设于主基板上；

由所述FLS垂向定位工装上的第一FLS传感器测量得到所述多面镜工装反射镜的上表面的第一垂向位置；

拆除所述多面镜工装反射镜，将装设于工件台上的第一基准板移至所述FLS垂向定位工装的轴线处；

由所述第一FLS传感器测量得到所述第一基准板的上表面的第二垂向位置；

基于所述第一垂向位置与所述第二垂向位置，校准所述工件台的垂向零位。

可选的，所述工件台位置校准方法还包括：在由所述第一FLS传感器测量得到所述第一基准板的上表面的第二垂向位置的同时，由所述第一FLS传感器测量得到所述第一基准板的第一水平向位置；

将装设于工件台上的第二基准板移至所述FLS垂向定位工装的轴线处；由所述第一FLS传感器测量得到所述第二基准板的上表面的第三垂向位置，以及所述第二基准板的第二水平向位置；基于所述第二水平向位置与所述第一水平向位置，得到所述第二基准板与所述第一基准板的水平向位置补偿量；和/或，基于所述第三垂向位置与所述第二垂向位置，得到所述第二基准板与所述第一基准板的垂向位置补偿量。

可选的，所述第一FLS传感器基于所述第一基准板上的扫描方孔标记，测量得到所述第一基准板的第二垂向位置和第一水平向位置；所述第一FLS传感器基于所述第二基准板上的扫描方孔标记，测量得到所述第二基准板的第三垂向位置和第二水平向位置。