[发明专利]金属有机化学气相沉积设备的尾气处理装置及应用

权利要求书

1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：

进气单元，其输入待处理的废气；

吸收单元，其上设有排气口且与所述进气单元连接，所述吸收单元内设有用于吸收所述待处理的尾气的吸收液；

监测单元，用于监测所述吸收单元中吸收液的参数并输出到监测单元中，所示参数包括pH值、ORP值和/或温度；以及

控制单元，基于所述监测单元输出的包含参数值的信号来控制所述尾气处理装置中的伺服部件，从而调节所述吸收液的对应参数。

2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，

所述吸收单元包括若干个串联的吸收塔，吸收塔上设有吸收塔进口和吸收塔出口；

作为优选，所述吸收塔进口设置在吸收塔的下部，所述吸收塔出口设置在吸收塔的上部；

作为优选，所述吸收塔顶部设有喷嘴，吸收塔底部设有填料和滤网；所述喷嘴用于喷淋吸收液；

作为进一步优选，所述喷嘴采用螺旋喷嘴；

作为进一步优选，所述填料包括带刺花环；

作为进一步优选，所述滤网目数为80-120目、优选100目。

3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，

所述监测单元包括设置在吸收单元上的监测探头；

作为优选，所述监测探头包括pH计、ORP计和/或温度传感器；

作为进一步优选，所述pH计上设有自动温度补偿功能；

作为优选，所述吸收单元上设有观察窗；

作为优选，所述吸收单元上设有泄爆口；

作为进一步优选，所述泄爆口采用的板材厚度比吸收塔的板材厚度小。

4.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，

所述尾气处理装置包括储液箱，储液箱内盛有吸收液；

作为优选，所述吸收液包括氧化性吸收液；

作为进一步优选，所述吸收液包括次氯酸钠溶液；

作为优选，所述吸收液的温度不超过30℃；

作为优选，所述储液箱内设有可远程监控吸收液液位的液位计；

作为优选，所述储液箱底部设有用于储液箱降温的冷却盘管；

作为优选，所述尾气处理装置包括用于调节吸收液pH值、ORP值和/或温度的给药单元，给药单元与储液箱连接。

5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，

所述进气单元包括洗涤器；

作为优选，所述洗涤器包括文丘里洗涤器；

作为优选，所述进气单元上设有用于检测吸收单元内压力的负压计；

所述尾气处理装置包括为吸收单元提供负压的风机，风机与排气口连通；

作为优选，所述风机采用变频风机；

作为优选，所述吸收塔内的压力为1500-2500Pa；

所述排气口上设有用于干燥处理后尾气的收雾除水层；

作为优选，所述待处理的尾气为来自金属有机化学气相沉积没备的尾气。

6.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，

所述控制单元执行如下逻辑：

当监测到吸收液的pH值低于7.5时，控制单元控制向吸收液中添加氢氧化钠溶液；

当监测到吸收液的pH值高于7.7时，控制单元控制向吸收液中添加磷酸溶液；

当监测到吸收液的pH值为7.5-7.7时，控制单元控制ORP计监控吸收液的ORP值；

当监测到吸收液的ORP值低于800-900mV、优选820mV时，控制单元控制向吸收液中添加次氯酸钠；

当监测到吸收液的ORP值达到800-900mV、优选820mV时，控制单元控制停止加药，再次监控吸收液的pH值，重复上述步骤。