[发明专利]照明系统、光瞳椭圆度补偿方法及光刻机

权利要求书

1.一种照明系统，其特征在于，包括：

光源模块，用于出射照明光束；

汇聚模块，用于接收并汇聚所述照明光束；

光瞳调节模块，位于所述光源模块及所述汇聚模块之间，且所述光瞳调节模块的透过率随光束入射角的变化而变化；

控制模块，控制所述光瞳调节模块在垂直于光轴的平面上转动以改变所述照明光束的入射角，并补偿所述照明系统的光瞳椭圆度。

2.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述光瞳调节模块包括一透明平板及涂覆于所述透明平板表面的增透膜。

3.如权利要求1或2所述的照明系统，其特征在于，所述光瞳调节模块位于所述汇聚模块的物面位置处。

4.如权利要求1或2所述的照明系统，其特征在于，所述光源模块包括汞灯光源及椭球反射镜，所述汞灯光源位于所述椭球反射镜的任一焦点上。

5.如权利要求1或2所述的照明系统，其特征在于，所述光源模块包括激光光源、扩束单元及光学衍射单元，所述扩束单元将所述激光光源出射的照明光束扩束准直后入射至所述光学衍射单元中，所述光学衍射单元将所述照明光束衍射后入射至所述汇聚模块中，以在所述照明系统的光瞳面上形成一设定形状的光瞳分布。

6.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述汇聚模块为2F光学模块、4F光学模块或6F光学模块。

7.如权利要求1或6所述的照明系统，其特征在于，所述汇聚模块的焦距可调，通过调节所述汇聚模块的焦距以改变所述汇聚模块的倍率，并改变所述照明系统的光瞳面上形成的光瞳分布的尺寸。

8.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述照明系统还包括：

匀光模块，位于所述汇聚模块的像面上，用于接收所述汇聚模块汇聚的照明光束并进行匀光，以形成均匀的照明视场；

中继模块，位于所述匀光模块的出光端，用于将所述照明视场放大。

9.一种光瞳椭圆度补偿方法，用于补偿如权利要求1-8中任一项所述的照明系统的光瞳椭圆度，其特征在于，包括：

在所述照明系统的生命周期内不同阶段下获取所述照明系统当前的光瞳椭圆度；

根据所述照明系统当前的光瞳椭圆度控制光瞳调节模块在垂直于光轴的平面上转动以改变所述照明光束的入射角，以补偿所述照明系统的椭圆度，并使所述照明系统在其生命周期内的光瞳椭圆度满足控制要求。

10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的照明系统。