[发明专利]芯片组件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201910681214.2 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN110783211B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: A·海因里希;F·达奇 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/58 分类号: H01L21/58;H01L23/492
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 邬少俊
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 芯片 组件 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种制造芯片组件(100)的方法,所述方法包括:

提供载体(102);

在所述载体(102)上提供附接材料(104)的连续层,其中,所述附接材料包括焊料材料或烧结材料;

提供金属网格阵列(106),所述金属网格阵列(106)包括至少一个开口(108);

通过所述附接材料(104)将所述金属网格阵列(106)附接到所述载体(102),其中,所述金属网格阵列(106)和所述载体(102)限定了至少一个腔穴(112),所述至少一个腔穴(112)中的每者是由所述至少一个开口(108)之一和所述载体(102)形成的;

通过所述附接材料(104)将电子芯片(116)安装在所述至少一个腔穴(112)中的每者中,其中,所述附接材料的连续层在所述金属网格阵列(106)和所述电子芯片(116)下方延伸。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述附接材料(104)包括银、铜、锡、锑和/或铟、和/或它们的合金作为所述烧结材料,或者包括铅-锡焊料、镍-金焊料、锡-银焊料、锡-铟焊料、锡-银-铜焊料、钯-金焊料、镍-钯-金-银焊料中的至少一者作为所述焊料材料,特别是扩散焊料材料。

3.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,所述金属网格阵列(106)是冲压的金属箔(106),其中,所述至少一个开口(108)是通过冲压形成的。

4.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,所述载体(102)包括铜,特别是具有镍或镍磷的涂层的铜,特别是,其中,所述载体(102)是引线框架或直接铜接合。

5.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,所述金属网格阵列(106)包括铜,特别是具有镍或镍磷的涂层的铜。

6.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,安装所述电子芯片(116)包括:

在所述至少一个腔穴(112)中提供管芯附接液体(114)或管芯附接膜;以及

将所述电子芯片(116)放置于所述管芯附接液体(114)中或者所述管芯附接膜上。

7.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,安装所述电子芯片(116)包括在处于200℃和400℃之间的范围内的温度下将所述电子芯片(116)和所述载体(102)朝向彼此按压。

8.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,安装所述电子芯片(116)包括在处于200℃和400℃之间的范围内的温度下将所述电子芯片(116)和所述金属网格阵列(106)两者与所述载体(102)朝向彼此按压。

9.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,所述电子芯片(116)包括面向朝向所述载体(102)的方向的安装表面。

10.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,还包括使所述载体(102)和所述金属网格阵列(106)相对于彼此对准。

11.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,还包括将层合物布置在所述电子芯片(116)之上。

12.根据前述权利要求中的任何一项所述的方法,其中,所述金属网格阵列包括多个开口(108),因而所述金属网格阵列和所述载体限定了多个腔穴(112),所述方法还包括:

在将所述电子芯片(116)安装在所述多个腔穴(112)中之后将所述多个腔穴单个化。

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