[发明专利]基于光波导结构的微驱动器

权利要求书

1.一种基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：所述基于光波导结构的微驱动器包括光波导层（1）和驱动臂（2）两部分；所述光波导层（1）上设置光波导结构（3）和光热转换区域（4）；所述基于光波导结构的驱动器由所述光波导层（1）和驱动臂（2）两层或者多层以上下叠加的形式组合而成；通过将光信号引入光波导结构（3）形成导模传输，导模传输至光热转换区域（4）产生热效应，实现驱动臂（2）的动作；所述光波导结构（3）为直波导、U形波导、Y分支波导、定向耦合器、环形谐振腔、波导光栅或马赫-曾德尔结构；所述光热转换区（4）位于光波导结构（3）的芯层或者包层，或者光热转换区（4）位于光波导层（1）和驱动臂（2）之间或者位于光波导层（1）表面；所述光波导结构（3）用于引导光信号在其中导模传输，所述光热转换区（4）用于通过反射、吸收把光信号能量集中起来，转换成足够高温度，形成一定的温度分布和体积膨胀量；由于光波导层（1）材料和驱动臂（2）材料杨氏模量以及热膨胀系数的差异，所述光波导层（1）吸收光能量后会产生一定方向上的形变，从而使得驱动臂（2）相应的产生对应方向上的形变。

2.根据权利要求1所述的基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：所述基于光波导结构的驱动器由光波导层（1）和驱动臂（2）两层上下叠加，或者由驱动臂（2）和光波导层（1）上下叠加，或者由两层光波导层（1）上下叠加，或者由光波导层（1）、驱动臂（2）和光波导层（1）上下叠加构成。

3.根据权利要求1所述的基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：所述光波导结构（3）和驱动臂（2）为聚合物、玻璃或金属材料制备的柔性层。

4.根据权利要求1所述的一种基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：光波导层（1）和驱动臂（2）厚度在100纳米至1厘米范围。

5.根据权利要求1所述的基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：所述光热转换区（4）有一个或多个点或者面。

6.根据权利要求1所述的基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：光热转换区域（4）为二色性染料、吸收染料、光敏材料或者纳米材料。

7.根据权利要求1所述的基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：所述光信号为相干光或者非相干光的偏振光或非偏振光，波长覆盖范围为100纳米至5微米。