[发明专利]一种单晶炉CCD双目液位测控装置和方法

权利要求书

1.一种单晶炉CCD双目液位测控装置，包括炉体，炉体的顶部设有炉盖，炉体内设有坩埚和热屏；其特征在于，还包括CCD相机、控制器系统和升降机构；

所述CCD相机设于炉盖顶部，用于观测炉内液面；

所述热屏设于坩埚上方，升降机构设有坩埚下方，用于升降坩埚和热屏；所述控制器系统用于人机交互及控制升降机构。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述CCD相机有两个，分别为第一相机和第二相机。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器系统包括上位机控制系统和PLC电气控制系统，上位机控制系统与PLC电气控制系统相连，PLC电气控制系统与升降机构相连。

4.一种利用权利要求1-3所述的装置进行的单晶炉CCD双目液位测控方法，其特征在于，按如下步骤：

S1、第一相机和第二相机通过标定后，确定两相机之间的空间立体关系，确定两相机与液面之间的空间立体关系；

S2、第一相机和第二相机通过捕捉晶棒与液体之间交界处的同一亮圈测量点来计算出测量点空间坐标，得出当前液位高度H；

S3、控制器系统读取标定时热屏与标定时标定板放置的水平面之间的距离D，通过D-H算出热屏与液面之间的高度差ΔH，根据高度差ΔH与设定高度差偏差来控制升降机构的升降及速度，从而实现将高度差控制在目标值±0.5mm之内。