[发明专利]一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法

权利要求书

1.一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、建立FIBM灰度图加工的轮廓仿真模型，所述轮廓仿真模型用于实现FIBM灰度图加工不同轮次的轮廓仿真；

S2、将原始设计的灰度图输入到所述轮廓仿真模型中进行仿真；

S3、将不同的仿真加工轮次与原始设计轮廓进行比较，计算出轮廓误差，当轮廓误差达到预设值时，停止仿真，记录此时的轮廓误差及相应的仿真加工轮次，并将该仿真加工轮次作为输入的灰度图的加工轮次；

S4、根据停止仿真时的轮廓及所述轮廓误差得到轮廓误差修形灰度图，并通过所述轮廓仿真模型计算剩余修形轮次；

S5、将轮廓误差修形灰度图输入所述轮廓仿真模型中继续仿真，重复S3~S4，得到多个轮廓误差修形灰度图及对应的加工轮次,直到利用S4得到的轮廓误差修形灰度图及剩余修形轮次完成整个仿真，且得到的轮廓误差没有达到预设值；

S6、启动实际加工，先用原始设计的灰度图加工对应轮次，再依次更换轮廓误差修形灰度图进行相应轮次的加工。

2.根据权利要求1所述的提高FIBM三维微结构面形精度的方法，其特征在于，所述步骤S1中的轮廓仿真模型考虑的因素包括再沉积现象、溅射产额变化和离子束空间分布。

3.根据权利要求1所述的提高FIBM三维微结构面形精度的方法，其特征在于，所述步骤S4中得到轮廓误差修形灰度图的步骤如下：

S41、对所述轮廓误差进行补偿，补偿原则是不考虑正误差，只对负误差区域进行补偿；

S42、利用补偿后的轮廓误差曲线作为轮廓误差修形灰度图的设计轮廓，通过插值法将二维误差曲线转换为三维轮廓值；

S43、将所述三维轮廓值转化为修形所用灰度图，生成该次轮廓误差修形灰度图。

4.一种计算机存储介质，其特征在于，其内存储有可被处理器执行的计算机程序，该计算机程序执行如权利要求1-3中任一项所述的提高FIBM三维微结构面形精度的方法步骤。