[发明专利]一种多层高真空插板阀系统及其使用方法

说明书

本发明提供了多层高真空插板阀系统及其使用方法，包括多层高真空插板阀，所述多层高真空插板阀的两侧分别连接有真空容器，多层高真空插板阀设置有真空接口，所述真空接口连接至抽真空装置。本发明采用多层阀板过渡的结构形式，将阀体两侧的压差分摊到多层阀板，每层阀板两侧的最大压差能够缩减多倍，阀板的耐压要求大幅降低，使得大口径高真空插板阀的研制成为可能，解决了组合体构型的大型真空容器的真空通、断控制难题。

技术领域

本发明涉及真空领域，具体地，涉及一种多层高真空插板阀系统及其使用方法。

背景技术

真空管道、真空容器等普遍采用真空阀门实现通、断控制，但受技术、成本等原因限制，真空阀门口径普遍较小，高真空插板阀口径均小于2m，对于组合体构型的大型真空容器尚无大口径阀门能够实现真空通、断控制。

申请号为201310349060.X的发明专利公开了一种真空插板阀，它包括手柄，压板，螺纹杆，阀体，出口，轴承，垫圈，插板和入口，阀体上设有出口和入口，所述的阀体上亦设有压板，螺纹杆穿设在压板上，螺纹杆的两端本别设有手柄和轴承，所述的轴承将插板固设在螺纹杆上，所述的插板上设有垫圈。该真空插板阀，通过调节手柄实现螺纹杆的上下调节，实现插板与台阶的分开与闭合，由于插板通过轴承与螺纹杆固连，且插板上设有垫圈，而螺纹具有自锁和微调的功能，因此，能方便的实现该真空插板阀的开启与闭合，并能将插板阀进行锁死，防止漏气，工作稳定可靠且效率高。但受材料、技术、成本等因素限制，上述专利目前普遍只能做到直径1.5m。例如直径7m的真空容器，上述专利的阀板重量将至少为50t，阀板的加工、驱动、密封等都极为困难。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种多层高真空插板阀系统及其使用方法。

根据本发明提供的一种多层高真空插板阀系统，包括多层高真空插板阀，所述多层高真空插板阀的两侧分别连接有真空容器，多层高真空插板阀设置有真空接口，所述真空接口连接至抽真空装置。

优选地，所述抽真空装置包括真空总管、真空泵以及多个真空支管，其中：

多个真空支管一端分别连接一真空接口，另一端接入所述真空总管；

所述真空泵连接所述真空总管。

优选地，所述真空支管上设置有真空支阀，所述真空总管与真空泵之间设置有真空总阀。

优选地，所述真空支管上还设置有真空计。

优选地，所述真空总管上还设置有复压阀，所述复压阀调节真空总管和多层高真空插板阀同步复压。

优选地，所述多层高真空插板阀包括过渡腔、阀腔、气缸、驱动机构、阀板以及真空接口，其中：

所述阀腔包括上层阀腔和下层阀腔；下层阀腔与所述过渡腔交替分布，下层阀腔与过渡腔连通；

气缸通过驱动机构驱动阀板在上层阀腔和下层阀腔中移动；

阀板处于下层阀腔时，阀板与下层阀腔之间通过密封圈实现密封。

本发明还一种多层高真空插板阀系统的使用方法，包括如下步骤：

连接步骤：多层高真空插板阀与两侧的真空容器、底部的抽真空装置连接；

调节步骤：根据两侧的真空容器的使用方式、压差状态，需调节的状态，多层高真空插板阀进行阀板的调节以及压差的调节，两侧的真空容器进行压差的调节。

优选地，所述调节步骤包括：

所述两侧的真空容器的使用方式包括：两侧的真空容器组合使用或者两侧的真空容器单独使用。

优选地，所述调节步骤包括：所述两侧的真空容器的压差状态包括大气状态或者真空状态。