[发明专利]一种镀膜室用基板装载装置

权利要求书

1.一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中所述游星盘设置在所述公转驱动盘的下方且两者之间通过所述游星臂构成传动连接，所述行星平板设置在所述游星盘上且两者之间构成传动连接；所述公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过所述游星臂带动所述游星盘绕所述公转驱动盘的旋转中心公转，并且所述游星盘在所述游星臂的带动下同时自转；通过所述公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现所述行星平板在所述游星盘上的翻转；

所述公转驱动盘通过传动齿轮组与所述游星臂的自转动力轴构成传动连接，以将所述公转驱动盘的旋转动力转化为所述游星盘的自转动力；

所述游星臂包括自转动力轴、翻转基座、磁力联轴器、中心轴以及翻转组件，其中所述自转动力轴与所述自转动力轴通过传动齿轮组构成传动连接，所述自转动力轴和所述中心轴通过所述磁力联轴器同轴连接，所述中心轴通过传动齿轮组与所述翻转组件构成传动连接，所述翻转组件传动连接行星平板并可驱动所述行星平板翻转，所述翻转基座用于安装所述翻转组件；

所述翻转组件包括翻转轴以及限位装置，其中所述翻转轴连接所述行星平板，所述限位装置设置在所述翻转轴的外侧以对所述翻转轴的旋转范围进行限位，从而对所述行星平板的翻转进行限位。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：所述限位装置包括具有限位杆的轴套以及限位柱，其中所述轴套套装在所述翻转轴的外围，所述限位柱设置在翻转基座内并位于所述限位杆的两侧；当所述翻转轴在旋转时，通过所述限位杆对所述限位柱的抵触实现限位。